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摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 2. 建模任務(wù) 3.

課程大綱1VirtualLab Fusion軟件介紹 光之?dāng)?shù)字模型平臺原理介紹 電磁場的表達(dá)形式 VirtualLab Fusion用戶界面的基礎(chǔ)操作2基礎(chǔ)知識簡介 干涉發(fā)生的條件 楊氏雙縫干涉實驗特性 激光邁克爾遜干涉--非序列追跡和參數(shù)掃描功能介紹3干涉測量系統(tǒng)建模

用于光學(xué)表面測量的菲索干涉儀 切爾尼-特納光譜儀的仿真 Mirau干涉儀系統(tǒng)分析-顯微干涉檢測3高端精密成像系統(tǒng)（半導(dǎo)體 / 工業(yè)檢測方向） 半導(dǎo)體晶圓微結(jié)構(gòu)缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng) 晶圓兩側(cè)光柵圖案的成像 激光共聚焦掃描顯微鏡成像分析 大數(shù)值孔徑聚焦中的粒子散射與反射 晶圓多層膜厚非接觸式光學(xué)測量仿真

摘要本用例以眾所周知的邁克爾遜干涉儀為例，展示了分布式計算的能力。多色光源與干涉測量裝置的一個位置掃描的反射鏡相結(jié)合，以執(zhí)行詳細(xì)的相干測量。使用具有六個本地多核PC組成的網(wǎng)絡(luò)分布式計算，所得到的2,904個基本模擬的模擬時間可以從一個多小時顯著減少到不到3分鐘。

整個系統(tǒng)中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。 試用軟件和應(yīng)用示例： 如果對更多信息感興趣，請通過 support@lighttrans.com 或通過VirtualLab Fusion試用版結(jié)合我們提供的應(yīng)用示例開展你的實驗工作：?MSY.0001: 使用相干光的馬赫澤德干涉儀仿真。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。

摘要 白光干涉測量法是一種非接觸式技術(shù)，用于精確測量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的光譜特性，即有限的相干長度，結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。 1. 建模任務(wù) 2. 干涉條紋的變化 3.

摘要 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。

摘要 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。

摘要 本用例以眾所周知的邁克爾遜干涉儀為例，展示了分布式計算的能力。多色光源與干涉測量裝置的一個位置掃描的反射鏡相結(jié)合，以執(zhí)行詳細(xì)的相干測量。使用具有六個本地多核PC組成的網(wǎng)絡(luò)分布式計算，所得到的2,904個基本模擬的模擬時間可以從一個多小時顯著減少到不到3分鐘。

摘要 白光干涉測量法是一種非接觸式技術(shù)，用于精確測量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的光譜特性，即有限的相干長度，結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。 1. 建模任務(wù) 2. 干涉條紋的變化 3.

摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 2. 建模任務(wù) 3.

摘要 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。

基于激光的邁克爾遜干涉儀 借助VirtualLab Fusion中非序列追跡技術(shù)建立了該邁克爾遜干涉儀，并展示了不同配置中的干涉條紋。 白光邁克爾遜干涉儀 模擬使用氙氣燈作為光源的邁克爾遜干涉儀，充分考慮了光源的光譜特性（有限的相干長度）。

190 6.1.1 使用相干光的馬赫-澤德干涉儀 190 6.1.2 白光邁克爾遜干涉儀 202 6.1.3 F-P干涉儀 220 6.2 顯微鏡模擬仿真 228 6.2.1 高數(shù)值孔徑顯微鏡模擬仿真及研究 228 6.3 單色儀和光譜儀模擬仿真 239 6.3.1 切爾尼-特納單色儀—衍射效率分析 239 6.3.2

自從1887年著名的邁克爾遜-莫雷實驗開始，邁克爾遜干涉儀及其變種在光學(xué)研究中發(fā)揮著重要作用。如今，人們?nèi)匀唤?jīng)常可以找到以邁克爾遜干涉儀形式配置的光學(xué)系統(tǒng)，例如相干掃描干涉儀。借助VirtualLab Fusion，尤其是在非序列場追跡的幫助下，我們展示了邁克爾遜白光干涉儀的工作原理，并展示了其如何應(yīng)用于光學(xué)計量學(xué)。

干涉測量是用于精確測量中最廣泛應(yīng)用的技術(shù)之一。通過觀察和研究條紋圖案，可以判斷表面形狀質(zhì)量或關(guān)于光譜帶寬的儀表信息。利用VirtualLab Fusion中非序列場追跡技術(shù)，可以輕松地設(shè)置和分析光學(xué)干涉儀。在這里提出兩個經(jīng)典的基于邁克爾遜干涉儀的例子：一個高質(zhì)量相干激光光源，另一個寬帶白光光源。

自從1887年著名的邁克爾遜-莫雷實驗開始，邁克爾遜干涉儀及其變種在光學(xué)研究中發(fā)揮著重要作用。如今，人們?nèi)匀唤?jīng)常可以找到以邁克爾遜干涉儀形式配置的光學(xué)系統(tǒng)，例如相干掃描干涉儀。借助VirtualLab Fusion，尤其是在非序列場追跡的幫助下，我們展示了邁克爾遜白光干涉儀的工作原理，并展示了其如何應(yīng)用于光學(xué)計量學(xué)。 ?