1. 摘要

白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

  

 

2. 建模任務

  

3. 干涉條紋的變化

 

4. 走進VirtualLab Fusion

  

5. VirtualLab Fusion 中的工作流程

? 輸入場設置

? 基本光源模型 [視頻教程]

? 定義元件的位置和方向

? 光路圖II：位置和方向 [視頻教程]

? 正確設置非序列追跡通道

? 非序列追跡的通道設置 [使用案例]

? 使用“參數運行”檢查影響/變化

? “參數運行文件”的使用 [使用案例]

 

6. VirtualLab Fusion 技術

7. 文件信息

 

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