摘要

 

白光干涉測量法是一種非接觸式技術，用于精確測量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設置和氙燈光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的光譜特性，即有限的相干長度，結果顯示僅當兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。

 

1. 建模任務

 

2. 干涉條紋的變化

 

 

3. VirtualLab Fusion概覽

 

 

4. VirtualLab Fusion中的工作流程

? 設置輸入場

- Basic Source Models [教程視頻]

? 定義組件的位置和方向

- Basic Source Models [教程視頻]

? 正確設置通道以進行非順序跟蹤

- Basic Source Models [使用案例]

? 使用參數(shù)運行檢查影響/變化

- Usage of the Parameter Run Document [用例]

 

5. VirtualLab Fusion 技術

 

 

6. 文件和技術信息