1.摘要

白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。

  

 

2.建模任務(wù)

  

3.干涉條紋的變化

 

4.走進(jìn)VirtualLab Fusion

  

5.VirtualLab Fusion 中的工作流程

• 輸入場(chǎng)設(shè)置
• 基本光源模型[視頻教程]
• 定義元件的位置和方向
• 光路圖II：位置和方向[視頻教程]
• 正確設(shè)置非序列追跡通道
• 非序列追跡的通道設(shè)置[使用案例]
• 使用“參數(shù)運(yùn)行”檢查影響/變化
• “參數(shù)運(yùn)行文件”的使用[使用案例]

 

6.VirtualLab Fusion 技術(shù)

7.文件信息