[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀

2025年11月21日 08:50
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摘要
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖1
 
掃描干涉儀是用于執行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現干涉圖樣。 因此，它可以實現精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。


 
建模任務
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖2
 

 
仿真干涉條紋
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖3
 

 
走進VirtualLab Fusion
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖4
 

 
VirtualLab Fusion中的工作流程
 
?設置輸入場
?基本光源模型[教程視頻]
?使用導入的數據自定義表面輪廓
?定義元件的位置和方向
? LPD II：位置和方向[教程視頻]
?正確設置通道以進行非序列追跡
?非序列追跡的通道設置[用例]
?使用參數運行檢查影響/變化
?參數運行文檔的使用[用例]
 
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖5

 
VirtualLab Fusion技術
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖6
 

文件信息
 
[VirtualLab] 全場光學相干掃描干涉儀的圖7

 
更多閱覽
-   Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration
-   Mach-Zehnder Interferometer
-   Fizeau Interferometer for Optical Testing
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