摘要

 

掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。

 

建模任務(wù)

 

 

仿真干涉條紋

 

 

走進(jìn)VirtualLab Fusion

 

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

?設(shè)置輸入場(chǎng)

?基本光源模型[教程視頻]

?使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓

?定義元件的位置和方向

? LPD II：位置和方向[教程視頻]

?正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡

?非序列追跡的通道設(shè)置[用例]

?使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化

?參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例]

 

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

 

文件信息