授課時間

2026/6/23（二）-6/24（三）AM 9:00-PM 16:00

授課地點

上海市嘉定區(qū)南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室

課程講師

訊技光電工程團隊及資深顧問

課程費用

3000RMB/1人次

(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費)

課程簡介

縱觀歷史，光學為進行極其精確的測量提供了必要的手段，這是激發(fā)科學技術(shù)潛力的重要一環(huán)。對計量系統(tǒng)的分析不可避免地需要考慮物理光學效應(相干、偏振、干涉、行射等)，以產(chǎn)生現(xiàn)實、充分的結(jié)果。VirtualLab Fusion為這種分析提供了必要的工具，利用快速物理光學理論來促進快速仿真。

干涉系統(tǒng)被廣泛地應用于光學測量和光學檢測等領(lǐng)域。對這類系統(tǒng)工作原理的討論必須要結(jié)合物理光學的知識，如光的電磁場表示、光的波動性、光場的疊加等。顯微系統(tǒng)也是組成光學測量的一個重要組成部分，課程內(nèi)容中也涵蓋了高NA系統(tǒng)，微觀與宏觀相結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真如晶圓檢測系統(tǒng)，摩爾紋系統(tǒng)等。該課程無需軟件基礎。

課程大綱

1

VirtualLab Fusion軟件介紹

• 光之數(shù)字模型平臺原理介紹
• 電磁場的表達形式
• VirtualLab Fusion用戶界面的基礎操作

2

基礎知識簡介

• 干涉發(fā)生的條件
• 楊氏雙縫干涉實驗特性
• 激光邁克爾遜干涉--非序列追跡和參數(shù)掃描功能介紹

3

干涉測量系統(tǒng)建模

• 利用FP腔研究鈉原子D線光譜
• 光學相干層析掃描系統(tǒng)
• Inces - Gaussian光束產(chǎn)生渦旋陣列激光光束的觀測
• 利用剪切干涉法的準直測量
• 基于菲索干涉儀的面型檢測
• Mirau干涉儀
• 基于零位檢測的CGH設計

4

微觀與宏觀結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真

• 結(jié)構(gòu)光照明的顯微鏡系統(tǒng)
• 用于微結(jié)構(gòu)晶圓檢測的光學系統(tǒng)
• 摩爾紋的仿真