授課時間

2026/5/21（四）-5/22（五）AM 9:00-PM 16:00

授課地點

上海市嘉定區南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室

課程講師

訊技光電工程團隊及資深顧問

課程費用

3000RMB/1人次

(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費)

課程簡介

本課程聚焦于利用VirtualLab Fusion先進的光之數字模型平臺，解決光學檢測與精密成像系統的核心設計挑戰。課程將系統進解如何對干涉儀、光譜儀等光學檢測系統進行高精度建模與性能評估:深入探討精密成像系統(如晶圓檢測、高NA鏡頭)的像質優化;并專門涵蓋顯微鏡系統(包括熒光、共聚焦及超分辨顯微技術)的完整物理光學仿真，以研究行射極限、三維成像特性及熒光處理等關鍵問題。通過結合理論講解與軟件實戰，學員將掌握從宏觀檢測到微觀成像的一體化軟件開發能力。

課程大綱

1

VirtualLab Fusion光之數字模型平臺

• 光之數字模型平臺在精密系統檢測方面的工作原理
• VirtualLab Fusion 用戶界面的基礎操作
• VirtualLab Fusion中非序列追跡的通道配置

2

典型光學檢測系統建模與性能驗證

• 基礎邁克爾遜干涉儀建模仿真
• OCT系統仿真-光學相干層析掃描干涉儀
• 用于光學表面測量的菲索干涉儀
• 切爾尼-特納光譜儀的仿真
• Mirau干涉儀系統分析-顯微干涉檢測

3

高端精密成像系統（半導體 / 工業檢測方向）

• 半導體晶圓微結構缺陷檢測光學系統
• 晶圓兩側光柵圖案的成像
• 激光共聚焦掃描顯微鏡成像分析
• 大數值孔徑聚焦中的粒子散射與反射
• 晶圓多層膜厚非接觸式光學測量仿真

4

先進顯微鏡系統的物理光學級仿真

• 顯微鏡系統的設計
• 通過瑞利判據對顯微鏡物鏡進行分辨率研究
• 熒光顯微鏡的彩色效應分析
• 高NA傅里葉顯微鏡單分子成像
• 高NA顯微鏡系統分析偶極子源的PSF
• 顯微鏡系統中來自光圈的衍射

5

光學系統的公差分析

• 考慮加工公差下的傾斜光柵魯棒性優化
• 鏡頭粗糙度對PSF的影響
• 衍射光學元件的加工圓角和高度公差分析