蒸鍍工藝
關注創建者：匿名 創建時間：2026-01-04
蒸鍍工藝的實例教程
CINNO Research產業資訊，韓國機器人開發和制造專業廠商T-Robotics公司6月18日 宣布 , 公司提前達到了8.6代 OLED蒸鍍工藝用真空機器人的性能 , 并進入商業化階段 。
T-Robotics公司成功研發的8.6代真空機器人，是在韓國產業部材料零部件技術開發項目的支持下實現的。該項目為期四年，總投資高達215億韓元，集結了包括韓國大企業在內的多家企業，并由T-Robotics擔任總管。原本定于今年12月31日完成的開發計劃，如今已提前約7個月圓滿結束。
T-Robotics公司代表安承旭表示：“此次8.6代OLED真空機器人的開發，標志著我們在顯示器產業市場上與日本企業壟斷的機器人市場展開有力競爭。”他進一步補充說：“這款機器人采用雙臂鏈接形式的行駛軸，上部搭載輸送機器人，確保了出色的長距離作業性能。我們已完成了國內外專利注冊，其結構特點顯著提升了機器人的速度、精度、生產良率和全方位輸送能力，同時也大幅提高了機器人的穩定性和耐久性。”
T-Robotics相關人士透露：“自2012年起，我們的真空機器人就開始供應給國內外顯示器生產企業，僅與此相關的年銷售額就平均達到500億至600億韓元。近五年來，我們主要供應給中華圈企業，市場占有率超過30%，已占據了顯著的市場份額。”
在OLED顯示真空機器人市場被日本企業壟斷的背景下，T-Robotics從第6代開始實現了韓國國產化，并目前向國內外顯示器企業提供第6代、第8代及第11代真空機器人。
最近，顯示行業協會預測，受OLED智能手機及IT設備應用范圍不斷擴大的影響，到2024年OLED市場將增長15%，達到488億美元，而LCD市場也將增長11.5%，達到830億美元。
展開 受限于技術和成本，目前量產的WOLED和QD-OLED產線都不會成為中尺寸筆記本電腦和平板電腦的開發方案，而RGB蒸鍍OLED顯示面板量產生產線全部集中在G6及G6以下世代線，主要應用產品以智能手機和智能穿戴為主，IT類中尺寸OLED面板目前在市場上的份額較小。
為應對IT類中尺寸OLED應用的需求，尤其是蘋果平板及筆記本電腦產品對于OLED顯示屏的規劃，促發三星SDC、樂金LGD等面板廠開始規劃G8+代（8.5/8.6/8.7代）高世代RGB-OLED顯示面板生產線，未來全球OLED的投資策略將由低世代（第6代）向G8+高世代線轉變。除了三星SDC、樂金LGD以及京東方BOE已陸續明確投資計劃之外，據悉維信諾Visionox及惠科HKC也有此意向，但尚未正式對外宣布投資規劃，預計最快將在2026年迎來三星SDC首條G8+ OLED產線的量產。
三星SDC最初計劃是采用G8.5代產線，為了滿足蘋果要求的面板尺寸，將玻璃尺寸調整為了G8.7代。此外，三星SDC將蒸鍍工藝從基于縱型蒸鍍工藝的全尺寸G8.7代，調整為基于半尺寸（Half Size，G8.7H＝1350×2300mm）G8.7代以水平蒸鍍工藝來啟動量產。在OLED面板的IT應用上，G8.7代線比G8.5/8.6代線生產更經濟。若以13.3英寸面板為例，G8.5代線（2200mm×2500mm）可制作88片，G8.6代線（2290mm×2620mm） 和G8.7代（2300×2700mm）可制作96片；而G8.5/8.6/8.7代線均可制作88片14.2英寸面板；至于16英寸產品，G8.5/8.6只能制作60片，而G8.7代線可制作72片。
展開 JOLED成立以來便是以印刷技術實現OLED量產，其與韓系廠商的蒸鍍工藝不一樣，前者會在價格和效率方面有潛在的優勢。
日本面板企業中，其在蒸鍍OLED落后于中韓，因此其希望依托印刷OLED保持顯示領先地位，推動日本的OLED產業鏈的發展，而JOLED便是當中的代表。
以韓系廠商三星Display和LGD為例，其采用的是蒸鍍技術生產OLED，這與JOLED采用印刷式生產是完全不一樣的。不過蒸鍍工藝的難點有兩個：一是在做RGB三基色屏幕時需要對齊像素分三次蒸鍍RGB材料，另外一個是大尺寸掩模制作困難。
于是三星在做小尺寸OLED，選擇的是RGB，而LG做大尺寸OLED，選擇白光OLED+濾色片，這樣能不用費心移動掩模對齊問題。
印刷式OLED是把材料直接噴到基板上，無需真空環境，無需昂貴的掩模，沒有因加熱蒸發造成的材料損失，沒有沉積不均勻的問題，因此JOLED認為可以降低成本30%。不過印刷式也有困難需要解決，那便是有機EL材料溶液的制作和溶劑的蒸發，液滴尺寸的一致性等等。
如果印刷OLED能把材料利用率提高到90%以上，同時把良率提升到蒸鍍OLED水準，其產品將更具成本。
在過去的四五年間，OLED電視憑借畫質優勢在全球高端電視市場獲得不俗的成績，但是OLED電視的市場潛力遠遠還沒有被挖掘出來。目前，OLED電視面板唯一供應商LG Display采用WOLED技術，材料利用率不足20%，生產成本較高，導致OLED電視一直停留在高端市場。
OLED電視要想在未來擴大自己的產品范圍，向中低端電視市場邁進，那么其便需要更具成本競爭力的OLED面板出現作為競爭核心，而印刷OLED會是潛力股之一。
展開 其中藍光OLED采用蒸鍍工藝，綠色、紅色量子點膜采用印刷工藝。
與RGB OLED相比，QD-OLED方案只有藍光OLED需要蒸鍍，降低了制備的難度。與LG Display WRGB OLED相比，三星Display QD-OLED發光效率更高。
北京交通大學教授徐征指出，WRGB OLED是白光OLED通過彩膜后得到
RGB，制備難度低一些，但是彩膜會降低出光效率，所以WRGB OLED亮度會低于RBG OLED面板。
而QD-OLED采用光轉換效率更高的量子點材料，藍光OLED激發量子點膜后仍然保持較高的亮度，而且藍光OLED部分沒有被遮擋，QD-OLED光的利用效率會比WRGB OLED的更高。
此外，理論上QD-OLED成本將更低。WRGB OLED擁有22層膜，QD-OLED只有13層膜，這意味著QD-OLED生產效率將更高，材料成本更低。DSCC估計，1平方米的QD-OLED材料成本約26美元，1平方米WRGB OLED材料成本接近95美元。
QD-OLED不易，面臨四大挑戰
由于QD-OLED使用了蒸鍍、印刷工藝，涉及OLED材料、量子點材料，所以除了OLED的一些難點需要克服之外，還需要解決印刷量子點所帶來的新難題。IHS Markit顯示研究總經理謝勤益認為，QD-OLED存在四大挑戰：印刷式量子點彩膜、藍光有機發光層蒸鍍及其壽命、金屬氧化物TFT背板、封裝工序。
如果將印刷工藝用于生產電致發光量子點膜，很難保證膜厚的均勻性，需要設計電路進行補償。徐征指出，用于光致發光的綠色、紅色量子點膜采用印刷工藝雖然降低了難度，但仍然很難保證膜厚的一致性。金屬氧化物TFT背板本身不穩定，量子點材料印刷在背板的過程中可能會出現混色的現象。
展開 據說該面板采用“柔性（Flexible）”+“硬性（Rigid）”的混合（Hybrid）結構，即首先在玻璃基板上蒸鍍RGB OLED發光層，然后用薄膜覆蓋。此外，為提高面板輝度、延長面板壽命，該類OLED 很有可能采用兩層發光層，即為串聯型（Tandem）。
據說最初計劃是采用G8.5代產線，為了滿足蘋果要求的面板尺寸，將玻璃尺寸調整為了G8.7代。此外，SDC最初計劃是將蒸鍍工藝應用于全尺寸（Full Size，G8.7F＝2300×2700mm）G8.7代，且基于縱型蒸鍍（并非是現在主流的水平蒸鍍）工藝進行了提前研發，但現在SDC決定基于半尺寸（Half Size，G8.7H＝1350×2300mm）G8.7代以水平蒸鍍工藝啟動量產。業界普遍認為這是SDC為滿足蘋果公司要求而做的決定，且SDC將繼續研發難度更高的新一代G8.7F的縱型蒸鍍。
SDC加快G8量產之理由
SDC之所以加快量產G8.7H，不僅僅是為了滿足蘋果的需求。
其中一個理由是，智能手機方向柔性OLED屏作為SDC目前最大的Cash Cow（搖錢樹），未來其市占率很有可能下滑。由于SDC的OLED屏具有較高的良率，因此在智能手機柔性OLED屏市場上處于近乎壟斷地位，據悉，2022年SDC在蘋果新機中的供給率為70%以上。
近年來，作為新進入蘋果供應鏈的供應商一一BOE的生產工藝逐漸成熟、良率逐步提升，據預測，從iPhone屏的供給量來看，2023年BOE有望超過LGD，成為僅次于SDC的第二大供應商。SDC、BOE、LGD作為iPhone的三大供應商，未來如何“瓜分”蘋果訂單，我們不得而知。但如果SDC不做出調整，未來可能更難提高iPhone屏的收益。2022年很有可能成為SDC史上iPhone屏收益最高的年份。
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隨后通過光刻、金屬蒸鍍及剝離工藝制備底部gold金屬電極（含T-segment與偏置電極），如圖5d所示。先沉積另一層二氧化硅（圖5e），再通過圖案化形成s-sep（圖5f）與g-sep（圖6i）結構的絕緣層。頂部金屬電極再次通過光刻、金屬蒸發和剝離工藝制備（如圖5g、j所示）。最后，硅襯底減薄至≈300μm，并通過深硅蝕刻在背面開孔（如圖5h、k所示）。
CINNO Research產業資訊，韓國機器人開發和制造專業廠商T-Robotics公司6月18日 宣布 , 公司提前達到了8.6代 OLED蒸鍍工藝用真空機器人的性能 , 并進入商業化階段 。
T-Robotics公司成功研發的8.6代真空機器人，是在韓國產業部材料零部件技術開發項目的支持下實現的。
GN2用于在蒸鍍工藝中將前驅體轉移到晶圓上，還用于防止退火過程中的氧化等。CDA用于半導體氧化膜工藝和廢氣處理設備。隨著客戶公司的半導體生產增加，GN2和CDA的使用量也將隨之增加。
GN2和CDA設備通常建設在客戶公司附近。因此，預計該項目將在SK海力士組建的龍仁產業集群內進行建設。2022年出售的“M16工業氣體工廠事業整體”也位于利川SK海力士園區內。
不過，RGB-OLEDoS作為蒸鍍工藝核心部件的FMM(精細金屬掩模版)技術難度較大，實際商業化很可能比W-OLEDoS更慢。此次A1內的試生產線也很有可能將焦點放在W-OLED試生產上。
另外，三星顯示去年5月斥資2.18億美元收購擁有RGB-OLEDoS相關技術能力的eMagin，展開積極的投資。
相比傳統的OLED，印刷OLED的工藝制程相對簡單，材料利用率高，不過關鍵還是要解決制造中的設備與材料供應問題，量產經驗較少；蒸鍍工藝成熟，量產經驗豐富，不過其應用在高世代OLED面板產線可能會有成本與良率的問題出現。
據TCL華星CEO趙軍透露：“印刷OLED產線的整體中臺，包括研發、工廠、運營，已經決定放在了武漢。
所謂蒸鍍工藝，是指在真空狀態下加熱有機材料并附著在面板基板上，是OLED面板生產中必不可少的工藝。蒸鍍方式主要分為水平沉蒸鍍和垂直蒸鍍，三星顯示需要利用水平蒸鍍技術。因為在面向IT的OLED領域，作為最大需求方的蘋果更傾向于水平蒸鍍的方式。蘋果認為，原先應用于第六代OLED工藝的水平蒸鍍技術，在第八代上也會更加穩定。
此外，三星SDC將蒸鍍工藝從基于縱型蒸鍍工藝的全尺寸G8.7代，調整為基于半尺寸（Half Size，G8.7H＝1350×2300mm）G8.7代以水平蒸鍍工藝來啟動量產。在OLED面板的IT應用上，G8.7代線比G8.5/8.6代線生產更經濟。
此外，SDC最初計劃是將蒸鍍工藝應用于全尺寸（Full Size，G8.7F＝2300×2700mm）G8.7代，且基于縱型蒸鍍（并非是現在主流的水平蒸鍍）工藝進行了提前研發，但現在SDC決定基于半尺寸（Half Size，G8.7H＝1350×2300mm）G8.7代以水平蒸鍍工藝啟動量產。
此外，還補充稱，“以FMM為基礎，還開發了蒸鍍、包裝工藝技術，可以制作RGB方式的OLEDoS顯示面板”，“自主制作的樣品已向國內外面板、設備廠商供應，正在討論技術合作和事業化”。
APS Holdings是OLEDoS韓國國策課題的主管機關，目標是到2024年為止制作4000PPI AR Glass樣品。
主要制造和銷售薄膜蒸鍍工藝所需的設備。其中，半導體設備在2022年占總銷售額的84.3%。
自1993年成立以來，周星工程一直專注于在半導體晶圓上涂布需要物質的蒸鍍設備領域。特別是在全球首個推出原子層沉積設備（ALD），受到業界廣泛關注。
