SK海力士子公司將斥約36.8億元生產(chǎn)芯片氣體

CINNO Research產(chǎn)業(yè)資訊,工業(yè)氣體專業(yè)廠商SK Materials Airplus將從今年開始,在10年內(nèi)進(jìn)行7000億韓元(約36.8億人民幣)規(guī)模的大規(guī)模投資。據(jù)推測(cè),此舉是為了對(duì)應(yīng)SK海力士新工廠基地—龍仁半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)群的需求。

SK Materials Airplus將投資7000億韓元用于增設(shè)氣態(tài)氮 (GN2) 和清潔干燥空氣(CDA)工廠。從今年開始,該投資將持續(xù)10年左右。資金計(jì)劃通過自有資本和外部融資籌集。


SK海力士子公司將斥約36.8億元生產(chǎn)芯片氣體的圖1


GN2和CDA是半導(dǎo)體工藝中必不可少的氣體。GN2用于在蒸鍍工藝中將前驅(qū)體轉(zhuǎn)移到晶圓上,還用于防止退火過程中的氧化等。CDA用于半導(dǎo)體氧化膜工藝和廢氣處理設(shè)備。隨著客戶公司的半導(dǎo)體生產(chǎn)增加,GN2和CDA的使用量也將隨之增加。

GN2和CDA設(shè)備通常建設(shè)在客戶公司附近。因此,預(yù)計(jì)該項(xiàng)目將在SK海力士組建的龍仁產(chǎn)業(yè)集群內(nèi)進(jìn)行建設(shè)。2022年出售的“M16工業(yè)氣體工廠事業(yè)整體”也位于利川SK海力士園區(qū)內(nèi)。


SK Materials Airplus是SK株式會(huì)社的全資控股子公司。為 SK Hynixs(SK海力士)、 SK Siltron和 SK Specialty供應(yīng) GN2、CDA、氬氣和其他工業(yè)氣體,其最大客戶是SK海力士。2022年和2023年整體銷售額(1743億韓元,2576億韓元)中的78.8%(1373億韓元)、34.3%(883億韓元)來自于SK海力士。

半導(dǎo)體材料行業(yè)相關(guān)人士對(duì)SK Materials Airplus的7000億韓元投資表示:“這估計(jì)是考慮到未來龍仁半導(dǎo)體集群建設(shè)而進(jìn)行的先發(fā)性投資”,“由于特殊氣體等產(chǎn)業(yè)的特性,從開工到完工需要時(shí)間,因此傾向于先發(fā)制人地投資”。并稱:“除此之外,SK Materials Airplus生產(chǎn)的材料,也可以向SK的其他材料子公司供應(yīng)”。

SK Materials Airplus相關(guān)人士就投資位置和產(chǎn)能表示:“目前還未確定,難以回答?!?/span>

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