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1）真空蒸鍍（Vacuum Evaporator）工藝真空蒸鍍是最早用于金屬薄膜制造的主流工藝，技術(shù)應(yīng)用距今超100年歷史，一般用于中小規(guī)模半導(dǎo)體集成電路。真空蒸鍍原理是對金屬材料進(jìn)行加熱使之沸騰后蒸發(fā)并沉積到硅片表面。

GN2和CDA是半導(dǎo)體工藝中必不可少的氣體。GN2用于在蒸鍍工藝中將前驅(qū)體轉(zhuǎn)移到晶圓上，還用于防止退火過程中的氧化等。CDA用于半導(dǎo)體氧化膜工藝和廢氣處理設(shè)備。隨著客戶公司的半導(dǎo)體生產(chǎn)增加，GN2和CDA的使用量也將隨之增加。GN2和CDA設(shè)備通常建設(shè)在客戶公司附近。因此，預(yù)計(jì)該項(xiàng)目將在SK海力士組建的龍仁產(chǎn)業(yè)集群內(nèi)進(jìn)行建設(shè)。

制造OLED器件的方案包括基于FMM（精密金屬掩模版，F(xiàn)ine Metal Mask）的蒸鍍方案，該方案廣泛用于智能手機(jī)等小尺寸OLED產(chǎn)品的制造；基于白光OLED搭配彩膜的蒸鍍方案，該方案廣泛用于電視等大尺寸OLED產(chǎn)品的制造；以及基于溶液制程的噴墨印刷方案。

康寧正在加強(qiáng)投資開發(fā)玻璃基板和改善工藝。為了將業(yè)務(wù)領(lǐng)域從液晶顯示器(LCD)擴(kuò)大到OLED領(lǐng)域，正在加強(qiáng)鋼化玻璃的開發(fā)。特別在康寧科技中心韓國的工藝領(lǐng)域，專注于涂層、蒸鍍技術(shù)的開發(fā)。Deepak Chaudhary總裁表示：“康寧正在物理氣象沉積、化學(xué)氣象沉積、濕式涂層、噴霧涂層等方面加強(qiáng)投資。”以沉積、涂層各種材料和氣體的方法，增強(qiáng)玻璃基板的耐用性。康寧還在擴(kuò)大玻璃基板的應(yīng)用。

薄膜制備工藝由于光學(xué)薄膜的沉積技術(shù)、制備原理、方法和工藝的不同，導(dǎo)致薄膜特性差異明顯，如微觀結(jié)構(gòu)不同、折射率等光學(xué)參數(shù)不同、雜質(zhì)缺陷的引入量不同等，這些因素都會影響薄膜的激光損傷破壞機(jī)理和過程，因此有不同的破壞閾值。對于蒸鍍法，適當(dāng)增大沉積速率會促使薄膜向著顆粒細(xì)小且致密的方向生長形成膜層，增大了薄膜的折射率。

華特氣體廣東華特氣體股份有限公司是一家致力于特種氣體國產(chǎn)化，打破極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等高端領(lǐng)域氣體材料制約的民族氣體廠商，主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)，提供氣體一站式綜合應(yīng)用解決方案。

與當(dāng)下量產(chǎn)中使用的真空蒸鍍技術(shù)（采用Fine Metal Mask，簡稱為“FMM”，精細(xì)金屬掩模版）不同，OVJP是一種利用噴墨頭（Ink Jet，內(nèi)部采用氣體）將低分子材料成膜的一種直熱干式（Direct Dry）印刷技術(shù)，有望作為RGB并排（Side by Side，即分開制作RGB）的OELD面板成膜技術(shù)被推廣應(yīng)用。