蒸鍍機
關注創建者：CINNO 創建時間：2023-06-20
蒸鍍機的實例教程
CINNO Research產業資訊，一度陷入僵局的三星顯示和日本Canon Tokki的8.6代有機發光二極管(OLED)蒸鍍機價格談判再次提速，明年一季度IT用有機發光二極管(OLED)面板生產按計劃進行的可能性增加。三星顯示將于近期完成供應合同，并加快建設試生產線。
根據韓媒朝鮮日報報道，根據6月19日業界消息，三星顯示正在與Canon Tokki進行被稱為OLED工藝核心設備的OLED蒸鍍機價格談判，近期將簽署供應合同。據悉，合同規模將在1萬億韓元至2萬億韓元之間（約合人民幣55.8億元-111.6億元）。因此，預計此前計劃在明年第一季度生產用于IT的OLED面板將成為現實。
所謂蒸鍍工藝，是指在真空狀態下加熱有機材料并附著在面板基板上，是OLED面板生產中必不可少的工藝。蒸鍍方式主要分為水平沉蒸鍍和垂直蒸鍍，三星顯示需要利用水平蒸鍍技術。因為在面向IT的OLED領域，作為最大需求方的蘋果更傾向于水平蒸鍍的方式。蘋果認為，原先應用于第六代OLED工藝的水平蒸鍍技術，在第八代上也會更加穩定。
從明年開始，蘋果將正式對iPad、MacBook等基于傳統液晶顯示器(LCD)顯示屏的產品采用OLED面板。因此，IT用OLED面板的供應量有望急劇增加。
展開 計劃在年內完成蒸鍍機等主要設備的安裝調試，并在2026年量產。
三星顯示3月10日表示，3月8日在忠清南道牙山廠區舉行了旨在構建IT用G8.6 OLED生產線的“A6生產線設備引進儀式”。A6生產線將對過去生產大型液晶顯示器(LCD)的L8生產線進行改造。A6是三星的第6條OLED生產線，也是世界上開工最早的IT用第8代OLED生產線。
三星顯示器最近完成了新生產線內的無塵室工程，計劃以引進蒸鍍機為開始，在年內完成安裝調試主要設備。目標是2026年正式量產。三星顯示曾于去年4月表示，到2026年前，將在IT用第八代OLED領域投資4.1萬億韓元（約人民幣224億元），構建年產1000萬片筆記本用OLED面板的生產線。
A6生產線計劃生產具有2層發光層的“Two Stack Tandem”結構產品，以及在玻璃基板上結合薄膜封裝的Hybrid OLED。Tandem OLED在產品壽命和亮度方面具有優勢。Hybrid OLED可以制作得比Rigid OLED(玻璃基板+玻璃封裝)薄。
此前，三星顯示于2019年在業界率先將IT用OLED商業化。去年，三星顯示與17家全球筆記本電腦品牌合作，推出了50款以上OLED筆記本電腦。目前，三星顯示正在5.5代(1300x1500mm) A2 Rigid OLED生產線上生產筆記本電腦OLED面板。這些產品采用了單層發光層的Rigid OLED。
三星顯示器社長崔周善和職員、佳能、wonik IPS、Fine Solution等100多名合作公司的相關人士參加了3月8日的進入儀式。
崔周善社長表示：“以長期積累的OLED技術力為基礎，繼移動通信之后正在準備IT市場的大轉換”，“以與全球合作公司的合作為基礎，將職員們的力量集中在一起，為8.6代IT OLED的量產而竭盡全力”。
展開 CINNO Research產業資訊，三星顯示決定在IT用8.5代OLED面板的制造上，優先評估有機物垂直蒸鍍方式。垂直蒸鍍可以最小化有機物蒸鍍過程中光罩下垂。
根據韓媒thelec報道，三星顯示正在與日本ULVAC聯手開發垂直蒸鍍方式的IT產品用8.5代OLED蒸鍍機。IT產品是指平板電腦、筆記本電腦、顯示器等。8.5代(2200x2500mm) OLED面板比現有的6代(1500x1850mm)在經濟性方面更有利。
垂直蒸鍍方式是將玻璃基板向與地面垂直立起來的方向輸送氣化(變成氣體)有機物的方式。第6代OLED主要使用的水平蒸鍍方式是，向與地面水平方向漂浮玻璃基板，將氣化的有機物從下往上蒸鍍。
三星顯示優先評估的垂直蒸鍍方式可以將“光罩下垂”問題最小化。在垂直蒸鍍方式上，不僅是玻璃基板， RGB OLED有機物蒸鍍所需的FMM金屬光罩也與地面垂直放置使用，因此可減少FMM中間下垂現象。
與此相比，水平蒸鍍方式的6代OLED在蒸鍍RGB有機物時使用長條形FMMstick，但因重力原因導致FMM stick中間下垂。為了防止這種情況發生，要在frame上拉伸焊接FMM stick。
展開 與半切式水平蒸鍍機相比，全切式垂直蒸鍍機可以減輕 FMM 中心區域因重量而下垂的現象，因為將紅（R） 綠 （G） 藍 （B） OLED 有機物蒸鍍所需的精細金屬掩模版 （FMM） 垂直于地面。此外，全切式垂直蒸鍍在薄膜晶體管（TFT）工藝后，基板未進行半切的狀態下蒸鍍有機物，使整個過程可以縮短。
但是垂直蒸鍍的量產性尚未得到驗證。在垂直蒸鍍中，需要更高的溫度才能將氣化的有機物輸送到一邊，然后蒸鍍在玻璃基板上。當熱量過多時，有機物特性可能會發生變化。另外，確保重復蒸鍍2米以上的8.5代玻璃基板的蒸鍍工藝，并在無損傷的情況下移動的物流技術也并非易事。
迄今為止，OLED智能手機等主要使用第六代（1500x1850mm）半切式水平蒸鍍技術。因此，雖然有觀點認為8.5代全切式垂直蒸鍍機在經濟性方面會更好，但在設備開發方面并不容易。
另外，三星顯示的此次確保Slot的要求，也反映了首先向三星電子供應IT用OLED的日程，以及Canon Tokki的設備生產能力等。
三星電子雖然在Mobile和IT產品出貨量上落后于蘋果，但守住了該領域的技術領先力。這里需要的OLED由三星顯示生產。據悉，Canon Tokki的產能包括每年生產4臺中小型OLED蒸鍍設備，以及4臺大型OLED蒸鍍設備。根據基板的代數，實際生產量可能會發生變化。Canon Tokki可以生產的蒸鍍設備數量有限，三星顯示需要抓緊時間。
LG顯示是蘋果的主要客戶公司之一，只要按照蘋果的日程就可以了。中國廠商京東方也計劃開發8.5代IT用OLED技術，但觀察技術開發趨勢后，再追趕也不遲。據悉，LG顯示和京東方也正在與Canon Tokki就8.5代OLED水平蒸鍍機進行相關討論，但目前還沒有要求確保Slot。
展開 三星顯示將推遲對已經開發一年多的全切（Full Cut）和垂直蒸鍍方式第8代OLED的投資，并努力將與蘋果等客戶公司已經明確需求的半切（Half Cut）、水平蒸鍍方式的第8代OLED投資日程提前。全切和垂直蒸鍍方式在技術成熟度和不確定的需求方面遇到阻礙。
根據韓媒Thelec報道，據業界12月19日消息，三星顯示推遲與日本愛發科（Ulvac）合作開發1年以上的全切（Full Cut）、垂直蒸鍍方式的IT用第8代有機發光二極管（OLED）投資的可能性較大。三星顯示在筆記本電腦、平板電腦等IT產品用OLED市場蓬勃發展之際，推動IT用第8代OLED項目采取與愛發科合作開發的“全切和垂直蒸鍍”的方式，以及與日本Canon Tokki合作開發的“半切、水平蒸鍍”方式并行的雙軌（Two Track）策略，其中全切和垂直蒸鍍方式的投資時間如今變得不透明。
在行業中，根據預期的設備下單和搬入時間不同，普遍將采用愛發科的全切和垂直蒸鍍機的生產線稱為一期，將采用Canon Tokki的半切和水平蒸鍍機的生產線稱為二期。預計愛發科的全切及垂直蒸鍍機將生產將紅（R）綠（G）藍（B）OLED發光層堆疊為1層的“單堆棧（Single Stack）OLED產品”，并供應給三星電子和華碩等公司。采用Canon Tokki的半切和水平蒸鍍機將生產將RGB OLED發光層堆疊成兩層的“雙棧串聯（Two Stack Tandem）”OLED產品，并供應給蘋果。這兩個項目是分開推進的，根據技術開發和客戶公司的需求等，二期產線有可能會在一期產線之前進行投資。
據推測，三星顯示之所以推遲第8代全切和垂直蒸鍍方式投資的原因在于技術成熟度和需求不確定性等綜合考慮的結果。
據悉，三星顯示與愛發科合作開發的全切、垂直蒸鍍方式的技術完成度并不高。
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對于華星光電如何使用這些研發用蒸鍍機，Sunic System的相關人士表示：“我們并不清楚客戶具體的使用計劃。”
三星顯示器最近完成了新生產線內的無塵室工程，計劃以引進蒸鍍機為開始，在年內完成安裝調試主要設備。目標是2026年正式量產。三星顯示曾于去年4月表示，到2026年前，將在IT用第八代OLED領域投資4.1萬億韓元（約人民幣224億元），構建年產1000萬片筆記本用OLED面板的生產線。
新工廠高度自動化、智能化、潔凈化，集結了業界頂尖的人才、技術和設備，包括KrF光刻機和行業領先的定制化蒸鍍機，擁有超過400道的硅基OLED生產工藝制程，采用全自動化物料搬送系統，通過先進的數字孿生技術實現生產用能降低和良率提升，為產品性能指標保障和成本大幅下降，提供了強有力支撐。
張網機是蒸鍍有機發光二極管（OLED）時，為防止精密金屬掩模版（FMM）向下下垂而緊緊拉并固定在Mask框架上的設備。以韓國面板企業為基準，Hims屬于三星顯示供應鏈，KPS和Hansong Neotech等是LG顯示供應鏈。這些張網機廠商還與中國面板廠商商（如京東方、TCL華星和天馬）進行交易。
再加上Canon Tokki大幅提高8.6代用OLED蒸鍍機價格后，增加了三星顯示的設備投資壓力。據悉，此前Canon Tokki要求OLED蒸鍍機價格為每臺至少1.5萬億韓元(約84億人民幣）。
Micro OLED需要在硅基板上實現像素，因此需要不同于現有OLED的蒸鍍機。據分析，這是生產OLED屏的三星顯示購買新的蒸鍍機的原因。
值得一提的是，三星此次采購了RGB Micro OLED用蒸鍍機，因此備受關注。三星將直接在硅上進行RGB像素的圖案化。
這是一種尚未在顯示行業商業化的技術。
以AMOLED面板制程設備為例，根據CINNO Research統計數據，中國大陸的國產化率雖然取得了一定的成績，但核心設備的國產化率仍處于偏低狀態，尤其Array段制程設備的國產化率仍處于偏低狀態，例如曝光機、蒸鍍機、氣相沉積設備等市場的國產化率低于5%。
據悉，日本Canon Tokki在對核心設備蒸鍍機報出高價的同時，還要求支付設備開發費。一位業內人士表示：“有時，會以降低設備價格為名義要求開發費用，但開發費用可能會像橡皮筋一樣增加，這是問題所在。”
LG顯示在2019年在中國廣州建成了第8代W-OLED工廠，1年后的2020年才量產投產。工廠的量產準備已經做好了，但是沒有需求。
后，近日韓國材料商豐元精密Poongwon Precision也宣布已于近期完成第8代OLED FMM制造設備的引進和安裝，有望量產第8代OLED FMM；掩膜版光刻機大型廠家瑞典Mycronic公司于2022年12月首次獲得能生產第8代工廠所需的大型FMM 的“FPS10 Evo”設備的訂單，計劃在2024年10一12月為客戶交貨；另外蒸鍍設備廠商預計將在2024年陸續向面板廠交付第8代OLED蒸鍍機
與適用于現有智能手機OLED的第六代RGB方案OLED類似，但由于玻璃基板尺寸從第6代變為第8代，因此需要開發新的蒸鍍機、OLED像素蒸鍍所需的精密金屬掩膜版（FMM）等。在蒸鍍機和FMM市場，日本Canon Tokki和DNP分別為主導廠商。
