針對高NA雙遠(yuǎn)心物鏡(NA>1.5),構(gòu)建“遠(yuǎn)心度-偏振態(tài)-深度衍射”多物理量耦合模型,解決超高清三維圖形的成像畸變問題。探索X射線雙遠(yuǎn)心光刻場景的模型拓展,突破傳統(tǒng)光刻的材料加工極限。2. AI驅(qū)動的高效化與智能化演進(jìn)融合深度學(xué)習(xí)與物理驅(qū)動建模,基于雙遠(yuǎn)心物鏡的光場規(guī)律性,訓(xùn)練輕量化神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)替代部分三維電磁仿真過程,實(shí)現(xiàn)模型計算效率的10倍級提升。