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光刻技術第10期 | 矢量OPC的優化算法
鑒于此,本文聚焦矢量OPC的優化算法體系,系統探討目標
函數
梯度與掩模變量替換的協同機制,深入分析理想焦面及工藝
變化
場景下像質評價
函數
梯度的求解方法,闡釋不同類型
罰
函數
的梯度約束原理,并結合SD算法構建完整的矢量OPC優化流程,為提升先進制程光刻圖形復刻精度及工藝穩健性提供理論支撐與技術參考。
2411
武漢二元
??? 4月前
帖子
有限元接觸分析的解析方法:
罰
函數
法,Lagrangian,遞增Lagrangian乘數法【轉載】
罰
函數
法:缺點: 近似解,要求極大
罰
函數值, 使方程組條件數變差。優點: 計算量不大,實現最簡單。Lagrangian乘數法:缺點: 增加了計算變量(計算量增加),方程性能變差(參見式(2.3),可以看出其導入了零對角項,該方程變為非正定方程)。優點: 精確解。
2386
1
G.Hicock
??? 3年前
帖子
頻響
函數
及其與傳遞
函數
的關系|穩定裕度的理解
伯德圖中的對數幅頻
曲線
就是將頻響
函數
的幅值變換為20log(G(iw))隨頻率的
變化
曲線
,該公式不正是增益的公式嗎?關于依據頻響
函數
建立起來的伯德圖的應用,可以將其結合對數穩定判據,判定系統的絕對穩定性(盧京潮P174),當然,這需要結合奈奎斯特判據來一起理解。伯德圖的更重要應用時判定系統的相對穩定性即穩定裕度(盧京潮P176)。現在來理解系統的穩定裕度。
2575
3
1
數峰青
??? 1年前
帖子
COMSOL 中定義隨時間任意
變化
的電信號的方法
同軸類型的集總端口邊界條件屏幕截圖,指定了隨時間
變化
的電流脈沖。 我們使用同軸類型的集總端口邊界條件,并指定一個瞬態外加電流。請注意,階躍
函數
的參數是以非維度單位輸入的。總模擬時間跨度為 150ns,每 1ns 保存一次結果。下圖顯示了在集總端口邊界條件(在電磁波,瞬態接口內,下圖中縮寫為 TEMW)處感應到的電壓。
曲線
顯示了電阻電容系統的典型響應。
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4
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學時習
??? 2年前
帖子
Comsol小技巧| 8-在Comsol中如何設置電流隨時間
變化
的分段
函數
?
1在 Comsol中,如何設置電流隨時間
變化
的分段
函數
?可以采用邏輯表達式的方法,將電流寫成類似 I=I1*(t>=0 & t<=600)+I2*(t>600 & t<1200)+I3*(t>=1200 & t<=1800)的形式,I1、I2 和 I3分別表示 3 個階段下輸入的電流值。2在Comsol中如何自定義
函數
?
3332
3
king_7080
??? 2年前
帖子
揚聲器線性傳遞
函數
的頻譜分析(Spectrum Analysis Concepts)
揚聲器的線性傳遞
函數
頻譜分析是指對揚聲器的傳遞
函數
進行頻域上的分析。傳遞
函數
是描述揚聲器響應特性的數學模型,它表示了輸入信號在不同頻率上通過揚聲器時的增益和相位
變化
。 頻譜分析可以幫助我們了解揚聲器在不同頻率下的響應特性、頻率范圍、共振點以及頻率失真等信息。
2825
2
1
聲學工程師小吳
??? 2年前
帖子
基于Adams實現滯回
曲線
——轉自MSC公眾號
圖5 不同參數下的z-x
變化
趨勢(左側為論文截圖,右側為Adams計算結果) 2.3 引用測試滯回
曲線
圖6 液壓轉向機壓力-角度
曲線
此測試
曲線
來源于液壓轉向機的輸入軸扭矩-壓力測試結果,常規是將其等效為中間的平均線,與實際存在差異。
4494
10
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peaky
??? 4年前
帖子
非線性有限元編程 | 接觸(1)
罰
函數
法 在處理接觸問題中,還有一種常見的方法,就是
罰
函數
法。什么是
罰
函數
法呢? 剛剛講的拉格朗日乘子法中,不允許從面侵入主面,那換個角度想,如果侵入了,該怎么處理呢?
4796
18
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易公子
??? 3年前
帖子
【圖文教程】 UG NX10.0 教你表達式和草圖如何聯合建模 !
表達式里,創建直徑600的圓
函數
表達式規律
曲線
,添加圓,利用表達式制作圓的目的是,為了中間的輪廓線表達式創建圓形正弦
函數
曲線
,正弦
函數
的y數據在圓周上發生改變,也就是圓方向上的r發生改變,所以根據參數寫出r的
函數
表達再建立r投影到x和y軸方向的圓形
函數
表達式規律
曲線
,完成正弦圓形
函數
曲線
軸測圖形態在同一個平面內的內外輪廓線根據題型要求
3581
張偉一
??? 3年前
帖子
OCAD應用:凸輪
曲線
優化設計
一般情況下,為了活動組的運動靈活方便,主要考慮變焦組和活動組的運動連續平滑,運動
曲線
不要過陡,避免運動卡死現象。但有些系統為精確控制在變焦過程中達到精確變焦焦距值,也可以選擇控制系統焦距
變化
曲線
,使得凸輪轉角是系統焦距
變化
的
函數
。在進行變焦系統凸輪
曲線
設計與優化時,可做如下一些選擇。
2268
畫屏
??? 1年前
帖子
圓錐藥型罩采用2D、3D單層和3D三種方法侵徹結果對比(基于LS-DYNA軟件平臺)
本次模擬旨在研究采用3種數值模擬方法(2D、3D單層和3D)對圓錐藥型罩所形成聚能射流對45#鋼靶的侵徹結果對比,軟件采用LS-DYNA,對比內容包括侵徹形態、射流速度
變化
、侵徹孔徑和侵徹深度,三種方法均使用ALE算法,流固耦合均采用
罰
函數
法(CTYPE=5),并采用完全相同的材料參數。
2516
1
320科技工作室
??? 3年前
帖子
Abaqus-橡膠材料的Mullins效應
損傷變量損傷變量η隨著形變而
變化
,其
變化
規律如下:其中,Umdev是物質點在其形變歷史中的?Udev的最大值;r、β和m是材料參數;而erf(x)是定義為誤差
函數
的
函數
:當 ?Udev=Umdev 時,對應于主
曲線
上的一點時, η=1.0。另一方面,η達到其最小值ηm,該值由以下公式給出:當形變消除時, η 達到其最小值 ηm ,即 ?Udev0 時。
2746
2
想飛更高
??? 2年前
帖子
整流罩地面分離過程仿真
3) 設置相互作用 對接觸性質進行編輯(見圖12),選擇
罰
函數
定義切向行為,其中Friction Coeff為
罰
剛度系數,僅取決于材料特性。在通用接觸中定義相互作用,賦予接觸性質,關鍵是定義相互接觸面(見圖13)。對于固體結構,接觸面為整流罩半罩蒙皮外表面,類型為幾何;對于流體材料,接觸面為整體,類型為網格(見圖14)。
2786
力學AI有限元
??? 1年前
帖子
OCAD應用:凸輪
曲線
優化設計
一般情況下,為了活動組的運動靈活方便,主要考慮變焦組和活動組的運動連續平滑,運動
曲線
不要過陡,避免運動卡死現象。但有些系統為精確控制在變焦過程中達到精確變焦焦距值,也可以選擇控制系統焦距
變化
曲線
,使得凸輪轉角是系統焦距
變化
的
函數
。在進行變焦系統凸輪
曲線
設計與優化時,可做如下一些選擇。
1721
信光嗎
??? 2月前
帖子
六軸碼垛機器人admas正逆運動學仿真
圖5-13 機器人ADAMS運動學仿真模型 圖5-14 機器人末端軌跡規劃 5.4.2 各關節角位移
變化
圖 (a)J1
變化
曲線
(b)J2
變化
曲線
(c)J3
變化
曲線
(d)J4
變化
曲線
(e)J5
變化
曲線
(f)J6
變化
曲線
圖5-15 關節角位移圖 5.4.3 正運動學仿真
2373
余俊煒
??? 3年前
帖子
一種基于熱效應下荷載-位移
曲線
確定FRP-鋼混凝土粘結滑移關系的新方法
本文提出了一種新型方法,在同時考慮機械作用與熱變形不相容影響的前提下,基于接頭加載端測得的荷載–位移
曲線
來確定界面粘結-滑移關系。該方法無需預先假設粘結-滑移關系的
函數
形式,從而具有更高的通用性和客觀性。
2025
Abaqus_JUN
??? 3月前
帖子
利用STAR-CCM+對壓氣機葉型進行優化
優化流程圖優化目標及設計變量 葉片優化的目的是降低流動損失,例如激波損失、二次流損失等,因此將效率作為優化目標,為保證葉片維持設計的性能參數,需對壓比和流量比進行約束,通過引入
罰
函數
將壓比和流量比約束引入到目標
函數
中,目標
函數
定義為: 優化變量為控制網格變形的控制點。
4226
2
我愛汽輪機仿真
??? 2年前
帖子
OCAD應用:凸輪
曲線
優化設計
一般情況下,為了活動組的運動靈活方便,主要考慮變焦組和活動組的運動連續平滑,運動
曲線
不要過陡,避免運動卡死現象。但有些系統為精確控制在變焦過程中達到精確變焦焦距值,也可以選擇控制系統焦距
變化
曲線
,使得凸輪轉角是系統焦距
變化
的
函數
。在進行變焦系統凸輪
曲線
設計與優化時,可做如下一些選擇。
1739
追光ing
??? 1年前
帖子
挖掘機多體動力學仿真
動臂質心位移
曲線
INTESIM-FMBD軟件后處理支持仿真
曲線
的輸出,可以輸出挖掘機各部件質心位移
變化
曲線
,列取動臂整個工作循環的質心位移
變化
曲線
如下圖,分別輸出動臂X方向、Y方向、Z方向及合位移
變化
曲線
。
3709
3
CAE仿真學習菌
??? 2年前
帖子
Abaqus-橡膠材料的Mullins效應
損傷變量損傷變量η隨著形變而
變化
,其
變化
規律如下:其中,Umdev是物質點在其形變歷史中的?Udev的最大值;r、β和m是材料參數;而erf(x)是定義為誤差
函數
的
函數
:當 ?Udev=Umdev 時,對應于主
曲線
上的一點時, η=1.0。另一方面,η達到其最小值ηm,該值由以下公式給出:當形變消除時, η 達到其最小值 ηm ,即 ?Udev0 時。
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仿真客
??? 2年前
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