光刻膠及配套材料
關注創建者：匿名 創建時間：2026-01-04
光刻膠及配套材料的視頻教程
ABAQUS-復合膠黏層材料拉伸破壞模擬
本案例采用Explicit顯示算法進行了準靜態拉伸模擬，試樣是外層為Al層，中間有四層0,90,0,90方向的復合材料膠合形成的復合板，中間的復合板采用Engineering定義剛度，并定義了Hasin失效準則，Al板定義了彈性，塑性，損傷等參數。輸出損傷相關場變量云圖，應力應變等，鋁板先斷裂。采用1/4模型，運算時間5小時。
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ABAQUS-復合膠黏層材料重物沖擊破壞模擬
本案例基于ABAQUS/Explicit模擬了一重物掉落沖擊膠黏層復合材料板，導致材料破壞的過程。重物采用剛性面模擬，耦合質量點0.783kg，復合板由4層0.5mm的復合材料粘結而成，采用composite layup定義材料鋪層。材料定義了Hasin破壞準則，粘結層采用接觸屬性定義cohesive，damage，等屬性，模擬時長0.01s，輸出應力分布，破壞相關準則，作用力歷史變量。
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濕熱環境下復合材料膠螺混合連接結構漸進損傷分析
通過abaqus建立了復合材料膠螺混合連接結構模型，通過子程序考慮了濕度和溫度對復合材料及膠膜力學性能的影響，完成了濕熱條件下復合材料膠螺混合連接結構分析漸進損傷
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光刻膠及配套材料的實例教程
認證評估結果顯示，本次認證系選擇客戶 55nm 技術節點邏輯芯片產品的工藝進行驗證，寧波南大光電研發的 ArF 光刻膠的測試良率結果符合要求，具備 55nm 平臺后段金屬布線層的工藝要求。
據悉，南大光電從事先進前驅體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料三類半導體材料產品生產、研發和銷售。2020年底，南大光電自主研發的ArF光刻膠產品通過下游客戶的使用認證，成為通過產品驗證的第一只國產ArF光刻膠，各項光學性能均達到商用膠水平。
南大光電目前已完成兩條光刻膠生產線的建設，正在推動ArF光刻膠的客戶驗證和量產工作，相關配套材料產業化也在穩步推進。半個月前，南大光電曾在投資者互動平臺表示，公司已建成25噸光刻膠生產線，生產線已具備批量生產的條件。
公告同時提示，ArF 光刻膠產品與本次認證通過的客戶之間的產品銷售與服務協議尚在協商之中。ArF 光刻膠的復雜性決定了其在穩定量產階段仍然存在工藝上的諸多風險，不僅需要技術攻關，還需要在應用中進行工藝的改進、完善，這些都會決定 ArF 光刻膠的量產規模和經濟效益。公司將根據后續進展履行信息披露義務。
展開 南大光電：子公司寧波南大光電自主研發的ArF光刻膠已通過客戶認證
南大光電是一家專業從事先進電子材料高純金屬有機化合物的研發、生產和銷售的高新技 術企業，對關鍵技術擁有完全自主知識產權，亦是全球 MO 源領導供應商之一，產品主要應用于下游制備 LED 外延片等。在半導體光刻膠領域，南大光電擬投資 6.56 億元，3 年建成年產 25 噸 193nm（ArF 干式和浸沒式）光刻膠生產線，該啟動項目已獲得國家 02專項正式立項。2020 年 11 月 6 日，南大光電披露 2020 年度向特定對象發行股票預案， 擬向特定對象發行股票的募集資金總額不超過 6.35 億元，其中 1.5 億元擬用于先進光刻 膠及高純配套材料的開發和產業化、ArF 光刻膠產品的開發和產業化。
上海新陽：主攻KrF和干法ArF光刻膠，目前已進入產能建設階段
上海新陽是以技術為主導，立足于自主創新的高新技術企業，專業從事半導體行業所需電子化學品及配套設備的研發設計、生產制造和銷售服務，致力于為用戶提供化學材料、配套設備、應用工藝和現場服務一體化的整體解決方案。上海新陽主攻 KrF 和干法 ArF 光刻膠，已經進入產能建設階段。根據 2020 年 11 月 3 日定增預案，公司擬定增募資不超過14.50 億元，其中 8.15 億元擬投資于集成電路制造用高端光刻膠研發、產業化項目，主要目標為實現 ArF 干法工藝使用的光刻膠和面向 3D NAND 臺階刻蝕的 KrF 厚膜光刻膠的產業化，力爭于 2023 年前實現上述產品的產業化，填補國內空白。
展開 趨勢：國產替代迫在眉睫，國內企業追風趕月
背景及政策|政策持續加碼，
國產替代乃大勢所趨
政策頻出，為國產替代浪潮推波助瀾：
光刻膠是集成電路領域微加工的關鍵性材料，為推動光刻膠等半導體材料行業的發展，國家、地方層面政策先后出臺。
其中，既有國家層面印發的戰略性、鼓勵性、支持性政策等，也有各個省市進一步落實國家政策發布的規劃、意見、指導目錄等。
尤其在中美貿易沖突的影響下，產業供應鏈安全和自主可控成為重中之重，國產替代迫在眉睫，乃行業發展的大勢所趨。
與光刻膠相關的政策：
2014.06國務院《國家集成電路產業發展推進綱要》：從國家戰略層面系統全面的為半導體產業鏈各環節定下發展方向和重點，其中提出要開發光刻膠等關鍵材料，研發光刻機等關鍵設備，增強產業配套能力。
2015.05商務部《國家重點支持的高新技術領域（2015）》：將分辨率光刻膠及配套化學品列入“精細化學品”大類下的“電子化學品”項。
2017.05科技部“十三五”先進制造技術領域科技創新專項規劃》：將深紫外光刻膠列為極大規模集成電路制造裝備及成套工藝的關鍵材料。
2019.12工信部《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2019年版)》：將集成電路用光刻膠及其關鍵原材料和配套試劑、ArF光刻膠用脂環族環氧樹脂、g/i線正性光刻膠用酚醛樹脂列入推薦材料。
展開 ——以下內容已上傳【半導體產業研究】知識星球，成員可登錄星球搜索關鍵詞“光刻膠”下載（文末查看如何成為星球成員）。
8月10日，工商信息顯示，華為哈勃新增對外投資徐州博康信息化學品有限公司（徐州博康屬博康集團旗下材料版塊企業，是集研發、生產、經營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術企業）。徐州博康注冊資本增幅11.11%，同時新增華為哈勃為股東。
《光刻膠行業深度研究報告》
~全篇完~
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展開 半導體光刻膠的分類及特點
資料來源：龐玉蓮，鄒應全《光刻材料的發展及應用》
根據光刻膠在曝光過程中對光線的反應，可以分為正性光刻膠（正膠）和負性光刻膠（負膠）。正性光刻膠在紫外線等曝光源的照射下，將圖形轉移至光膠涂層上，受光照射后感光部分將發生分解反應，可溶于顯影液，未感光部分不溶于顯影液，仍然保留在襯底上，將與掩膜上相同的圖形復制到襯底上。正性光刻膠響應波長為330-430納米，膠膜厚為1-3微米。負性光刻膠在紫外線等曝光源的照射下，將圖形轉移至光膠涂層上，在顯影溶液的作用下，負性光刻膠曝光部分產生交聯反應而不溶于顯影液；未曝光部分溶于顯影液，將與掩膜上相反的圖形復制到襯底上。負性光刻膠響應波長為 330-430 納米，膠膜厚0.3-1微米。正性光刻膠的分辨率更高，無溶脹現象。因此，正性光刻膠的應用比負性光刻膠更為普及。
圖2. 負性光刻膠和負性光刻膠
資料來源：Lam Research
根據在曝光時的光化學反應過程的不同，光刻膠可以分為光聚合型、光分解型、光交聯型和化學放大四種類型。光聚合型是最為初級的材料類型，通過烯類單體在光作用下可產生自由基，生成聚化物的特性，常用于制造正型光刻膠。光分解型光刻膠采用含有重氮醌類化合物材料作為感光劑，光線照射后發生光分解反應，由油性變為水性溶劑，可制造正性光刻膠。光交聯型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯作為光敏材料，光線照射后形成一種網狀結構的不溶物，可起到抗蝕作用，適用于制成負性光刻膠。化學放大型光刻膠使用光致酸劑作為光引發劑，光線照射后，曝光區域的光致酸劑會產生一種酸，并在后熱烘培工序期間作為催化劑移除樹脂的保護基團，使樹脂變得可溶。化學放大光刻膠對深紫外光源具有良好的光敏性，具有高對比度、分辨率等優點。
圖3.
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光刻膠及配套材料的相關專題、標簽、搜索
光刻膠及配套材料的最新內容
隨著汽車輕量化技術的發展，車身所用材料呈現出多樣化的趨勢，由于異種材料之間的物理、化學和力學性能方面存在較大差異，因此多材料輕量化車身對連接技術提出了新的挑戰。
傳統點焊連接由于技術瓶頸和成本的原因，無法廣泛應用于異種材料的連接；而鉚接和螺栓連接則在連接處有顯著的應力集中。
結構膠廣泛應用
結構膠連接作為一種新型連接技術，具有良好的異種材料連接性能
來源 | Small
作者 | 苗沐霖博士
香港城市大學呂堅院士團隊最新發表在Small期刊上的題目為 “3D-Printed Mullite-Reinforced SiC-Based Aerogel Composites” 的文章，制備出了具有優異力學性能且可以實現精確熱管理功能的碳化硅氣凝膠復合材料。具有這種結構的氣凝膠復合材料可用于汽車電池或精密器件
，制造及封裝材料有電子特氣、光掩膜、拋光液、拋光墊、光刻膠及配套試劑、摻雜材料、絕緣材料（氧化鋁、氮化硅等）、二極管材料（二硫化鍺、磷化銦鎵等）、濺射靶材等。
這其中，金剛石被視為終極半導體材料。
來源 | ACS Applied Materials & Interface
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背景介紹
由于氣凝膠在航空航天工業、軍事行動和靠近火源等惡劣環境領域的應用潛力，其高溫熱防護受到了研究人員的廣泛關注。特別是，聚酰亞胺、酚醛、芳綸等有機氣凝膠由于其低密度而非常有利，其中具有高炭產率的酚醛樹脂氣凝膠(PRA)作為一種有能力的燒蝕劑很受歡迎，為了在高機械應力和高熱載荷條件下獲得更好的力學性能
來源 | 中科潤資公眾號
近日，中科潤資通過前驅體金屬氧化物注入、控制濕凝膠介孔成型， 并調整纖維載體成分和直徑比例分布，優化惰性氣體置換條件等技術措施，成功將硅系纖維氣凝膠復合材料在高溫段（500℃）的導熱系數降低至0.044w/m·k（穩態熱防護板法 GB/T 10294-2008，ASTM C177-19），并滿足在1300℃時長效穩定絕熱，達到世界領先水平
來源：第一財經
半年之前的一樁令人引人注目的收購案，其背后隱情浮出水面。
2023年6月26日，由日本政府支持的日本產業革新投資機構（JIC）同意以約9093億日元（約合人民幣453.7億元）收購全球市場份額第一的日本光刻膠巨頭JSR。
該收購案正值各國政府尋求保護半導體技術之際，該交易引發了全球投資者對日本政府加強對該國半導體行業干預的密切關注
來源 | Materials Today Communications
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背景介紹
氣凝膠具有密度小、孔隙率高、導熱系數低等特點，是一種理想的保溫材料。環境與資源的矛盾也要求利用可再生資源開發氣凝膠。纖維素基氣凝膠除了具有傳統氣凝膠的優點外，還具有生物相容性、環境友好性和可生物降解性，是最豐富的天然可再生資源，是一種受歡迎的可持續保溫材料
來源 | ACS Nano
01
背景介紹
氣凝膠纖維是一類典型的新材料，由于其具有高孔隙率、低導熱性和低密度等優異特性，近年來受到越來越多的關注。這些特性為納米多孔氣凝膠纖維在隔熱、可穿戴織物、電磁屏蔽、傳熱裝置等領域的應用提供了廣闊的前景。但是，高孔隙率使得納米多孔氣凝膠纖維本能地表現出較差的力學性能。然而，要克服納米多孔氣凝膠纖維因其高孔隙率而帶來的脆弱力學特性
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Xincen Lin, Shuliang Lin, Wenxiong Li, et al. Thermo-Responsive Self-Ceramifiable Robust Aerogel with Exceptional Strengthening and Thermal Insulating Performance at Ultrahigh Temperatures
近日，工業和信息化部、國務院國資委發布“關于印發前沿材料產業化重點發展指導目錄（第一批）的通知”，本批指導目錄收錄了15種前沿材料，其中高性能氣凝膠隔熱材料、石墨烯、液態金屬列入其中。
前沿材料代表新材料產業發展的方向與趨勢，具有先導性、引領性和顛覆性，是構建新的增長引擎的重要切入點。據了解，本次列入目錄材料是已有相應研究成果，具備工程化產業化基礎，有望率先批量產業化的前沿材料
