本文介紹了完整的Czerny-Turner設置的模擬，包括真實的反射鏡和衍射光柵，特別是用傅里葉模態法（FMM）建模的光柵。 建模任務 結果 結果 文件信息

?求解器選項卡允許編輯所使用FMM(“傅里葉模態法”，也被稱為RCWA，“嚴格耦合波分析”)算法的精度設置。 ?既可以設置考慮的總級次數，也可以設置倏逝級次數。 ?如果考慮金屬光柵，這可能是有用的。相反，對于介質光柵，默認設置就足夠了。 結構分解 ?結構分解選項卡提供了關于結構分解的信息。 ?層分解和轉換點分解設置可以用來調整結構的離散化。

2 衍射光學元件設計與優化 VirtualLab Fusion自由空間傳播方法 迭代傅里葉變化及角譜方法 將高斯光整形成矩形平頂光束的設計優化 衍射光學元件分束設計優化 生成圖案的衍射擴散器設計 基于薄元近似的實際結構與公差分析仿真 衍射光學元件加工文件導出 3 周期性微納結構的優化設計 傅里葉模態法

本課程使用光之數字模型平臺VirtualLab Fusion，介紹如何使用傅里葉模態法對光柵進行嚴格精確的仿真。課程涵蓋的光柵示例既有表面型光柵，也有全息型體光柵，例如傾斜光柵、閃耀光柵、用于光學超透鏡的Nanopillar結構等。此外還會介紹超表面的設計和參數優化和大角度超光柵仿真。該課程無需軟件基礎。

VirtualLab Fusion為這一任務提供了大量不同的專門求解器，從近似但快速的方法，如薄元近似法（TEA），到嚴格的方法，如傅里葉模態法（FMM）/嚴格耦合波分析（RCWA）。 光柵是許多不同的現代應用和技術中使用的一種基本光學元件。這種元件有時可以通過函數方法進行足夠精確的建模。

利用局部線性光柵近似（LLGA）電磁場求解器處理衍射光柵結構的傳播，并結合薄透鏡組元近似（TEA）和傅里葉模態法（FMM）作為基礎局部求解器。內部精度準則控制兩種算法中哪一種使用在哪個橫向位置。

這些方法的范圍從嚴格的傅里葉模態法（FMM）到適用于具有淺浮雕大型結構的薄元近似法（TEA）。

[圖片]

橢圓偏振系數測量 橢圓偏振分析儀測量反射系數（s-和p-極化分量）的比率??，并輸出相位差??，以及振幅分量Ψ，根據 在VirtualLab Fusion中，復數系數??p和??s是通過應用嚴格耦合波分析（RCWA），也被稱為傅里葉模態法（FMM）來計算。因此，在研究光柵樣品的情況下，這些系數也可以是特定衍射階數的瑞利系數。

有關詳細信息，請參閱：用于通用光學系統的光柵元件 微結構晶片的角度響應 該光柵組件使用傅里葉模態法(FMM)，也稱為嚴格耦合波分析(RCWA)，其運作在k域中。當入射大NA光束時，需要考慮在k域中有足夠數量的采樣點來解決角度敏感效應。在光柵組件的求解器區域中，用戶可以輕松地調整此參數，以確?？焖俣鴾蚀_的模擬。