摘要

                                                   

薄元近似(TEA)是傅里葉光學中廣泛應用的計算光柵衍射效率的方法。然而，我們也知道，對于較小的光柵周期，也就是當其更接近于光的波長時，近似變得不準確。在本例中，選擇了兩種類型的傳輸光柵來展示這種效果:正弦光柵和閃耀光柵。我們使用TEA和FMM(也稱為RWCA，這是嚴格的)來分析這種具有不同周期的光柵，通過比較結果，我們研究了兩種方法的表現                                                             

建模任務

光柵元件

    

通用光柵組件（General Grating Component）允許用戶在模擬中選擇不同的求解算法。用戶可以在嚴格的傅里葉模態法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之間進行選擇。關于解算器的更多信息可以在這里找到:

? FMM/RCWA

? Diffractive Lens Component  

正弦光柵-效率vs高度(只用TEA)       

                                       

正弦光柵-傳輸相位形態     

正弦光柵-傳輸相位形態                                                        

 

正弦光柵-衍射效率

正弦光柵-效率vs. 周期                                                       

正弦光柵—選定周期的相位形態                                      

                                                       

閃耀光柵-效率vs.高度(只用TEA) 

                                                    

閃耀光柵-傳輸相位形態                                                        

 

 

閃耀光柵-衍射效率                                                        

                                                            

閃耀光柵-效率vs.周期                                                        

                                                            

閃耀光柵-選定周期相位形態                                                        

                                                            

VirtualLab Fusion技術   

文件信息

 

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