授課時間

2026/5/19（二）-5/20（三）

AM 9:00-PM 16:00

授課地點

上海市嘉定區南翔銀翔路819號中暨大廈18樓1805室

課程講師

訊技光電工程團隊及資深顧問

課程費用

4800RMB/1人次

(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費)

課程簡介

微結構元件作為現代光學系統的核心組成部分，應用廣泛，其設計精度與加工質量直接影響器件性能。本課程借助光之數字模型平臺VirtualLab Fusion，結合多種仿真算法，開展各類微結構的仿真設計與性能優化教學。

課程涵蓋衍射光學元件、光柵、超表面等多種微結構類型，包括蛾眼減反射表面、偏振無關光柵、超構透鏡等，涉及結構建模、參數優化、性能驗證等核心環節，無需深厚軟件基礎即可參與學習。

本課程講解VirtualLab Fusion在微結構仿真中的應用方法，為微結構加工提供可靠的仿真支撐與理論依據。加工方面主要介紹微納加工工藝選型、加工參數把控及質量檢測等內容，呈現微結構從仿真設計到實際加工的完整技術思路。

課程大綱

1

VirtualLab Fusion軟件介紹

• 光之數字模型平臺原理介紹
• VirtualLab Fusion用戶界面的基礎操作

2

衍射光學元件設計與優化

• VirtualLab Fusion自由空間傳播方法
• 迭代傅里葉變化及角譜方法
• 將高斯光整形成矩形平頂光束的設計優化
• 衍射光學元件分束設計優化
• 生成圖案的衍射擴散器設計
• 基于薄元近似的實際結構與公差分析仿真
• 衍射光學元件加工文件導出

3

周期性微納結構的優化設計

• 傅里葉模態法（Fourier Modal Method）仿真
• 微透鏡陣列仿真
• 蛾眼減反射表面的建模和仿真優化
• 閃耀光柵與傾斜光柵的設計優化與公差分析
• 提高光柵衍射級次效率的光柵優化設計
• 大角度分束衍射光學元件的設計優化

4

超表面微納結構

• 超構表面偏振/波長/角度響應分析
• 超光柵的構建
• 基于神經網絡的超構透鏡設計
• 設計和分析超透鏡
• 基于超構透鏡（PCA）實現聚焦與成像

5

微納加工工藝方案

• 微納加工完整流程概述
• 灰度曝光/直寫技術
• 刻蝕類工藝
• 其他輔助工藝
• 典型微納結構加工全流程實例

6

微納結構的表征

•  微納結構面型檢測

時間	第一天	第一天
上午	1.VirtualLab Fusion軟件介紹 2. 衍射光學元件設計與優化	3. 周期性微納結構的優化設計 4.超表面微納結構
下午	2. 衍射光學元件設計與優化 3. 周期性微納結構的優化設計	5. 微納加工工藝方案 6. 微納結構的表征