摘要

                          

薄元近似(TEA)是傅里葉光學(xué)中廣泛應(yīng)用的計(jì)算光柵衍射效率的方法。然而，我們也知道，對(duì)于較小的光柵周期，也就是當(dāng)其更接近于光的波長(zhǎng)時(shí)，近似變得不準(zhǔn)確。在本例中，選擇了兩種類型的傳輸光柵來展示這種效果:正弦光柵和閃耀光柵。我們使用TEA和FMM(也稱為RWCA，這是嚴(yán)格的)來分析這種具有不同周期的光柵，通過比較結(jié)果，我們研究了兩種方法的表現(xiàn)

建模任務(wù)

光柵元件

通用光柵組件（General Grating Component）允許用戶在模擬中選擇不同的求解算法。用戶可以在嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之間進(jìn)行選擇。關(guān)于解算器的更多信息可以在這里找到:

? FMM/RCWA

? Diffractive Lens Component

正弦光柵-效率vs高度(只用TEA)    

正弦光柵-傳輸相位形態(tài)   

正弦光柵-傳輸相位形態(tài)                             

正弦光柵-衍射效率

正弦光柵-效率vs. 周期                            

正弦光柵—選定周期的相位形態(tài)                    

                            

閃耀光柵-效率vs.高度(只用TEA) 

                            

閃耀光柵-傳輸相位形態(tài)                             

閃耀光柵-衍射效率                             

                               

閃耀光柵-效率vs.周期                             

                               

閃耀光柵-選定周期相位形態(tài)                             

                               

VirtualLab Fusion技術(shù)  

文件信息

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