摘要
 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。

傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）
 建模任務(wù)

 單次FMM仿真結(jié)果

 參數(shù)掃描（1D）

 參數(shù)掃描（2D）  

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