[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵
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摘要
可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統、執行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數運行結合使用，可以在給定的參數空間上進行掃描，以研究指定結構在不同配置下的性能。
![[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵的圖1](https://img.jishulink.com/202511/attachment/c65941358d794c3d8a42c90f7e35b1de.png)
傅里葉模態法（FMM，也稱為RCWA）
建模任務
![[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵的圖2](https://img.jishulink.com/202511/attachment/b5d23bc81b284bed844152793c8f1787.png)
單次FMM仿真結果
![[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵的圖3](https://img.jishulink.com/202511/attachment/62c043e74eb445e8996bc6af3de7785c.png)
參數掃描（1D）
![[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵的圖4](https://img.jishulink.com/202511/attachment/c41c23ed67e54a789257a452176ef54e.png)
參數掃描（2D）
![[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵的圖5](https://img.jishulink.com/202511/attachment/854b5480c4fc4af1bcd0704f60e57a8b.png)
文件信息
![[VirtualLab] 使用傅里葉模態法分析閃耀光柵的圖6](https://img.jishulink.com/202511/attachment/abd20b1558d24863b18c6bd3003e9edb.png)
拓展閱讀
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