授課時間：：2026/5/28（四）-5/29（五）（各城市并行開課）

課程時數(shù)：2天/城市

授課地點：深圳市光明區(qū)鳳凰街道尚智科技園1棟B座1503

課程講師：訊技光電工程師隊

課程費用：3600RMB/1人次

(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費)

課程簡介

Course Introduction

光柵是現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)中最為常用的一種衍射光學(xué)元件。隨著制作工藝的不斷提升，光柵的尺寸也越做越小。相應(yīng)地，光柵分析必須使用基于矢量電磁場原理的方法。本課程使用光之數(shù)字模型平臺VirtualLab Fusion，介紹如何使用傅里葉模態(tài)法對光柵進行嚴格精確的仿真。課程涵蓋的光柵示例既有表面型光柵，也有全息型體光柵，例如傾斜光柵、閃耀光柵、用于光學(xué)超透鏡的Nanopillar結(jié)構(gòu)等。此外還會介紹超表面的設(shè)計和參數(shù)優(yōu)化和大角度超光柵仿真。該課程無需軟件基礎(chǔ)。

課程大綱

Course Syllabus

1

VirtualLab Fusion軟件介紹

• 光之數(shù)字模型平臺原理介紹
• VirtualLab Fusion用戶界面的基礎(chǔ)操作

2

光柵仿真算法比較

• 薄元近似法（Thin Element Approximation）
• 傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method）
• 周期單元近似法（Periodic Cell Approximation）

3

光柵嚴格分析實例

• 閃耀光柵
• 亞波長光柵與偏振轉(zhuǎn)換
• 體全息光柵的波長和角度選擇特性
• 諧振光柵耦合器

4

光柵設(shè)計與優(yōu)化

• 傾斜光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化
• 公差分析
• 蛾眼抗反射結(jié)構(gòu)的設(shè)計與優(yōu)化
• 高衍射效率偏振無關(guān)光柵的優(yōu)化設(shè)計

5

光柵系統(tǒng)級分析

• 晶圓檢測系統(tǒng)
• 晶圓雙面光柵圖案的成像分析
• 共聚焦顯微鏡檢測系統(tǒng)

6

超表面微納結(jié)構(gòu)

• 超構(gòu)表面偏振/波長/角度響應(yīng)分析
• 超光柵的構(gòu)建
• 基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的超構(gòu)透鏡設(shè)計
• 設(shè)計和分析超透鏡
• 基于超構(gòu)透鏡（PCA）實現(xiàn)聚焦與成像