3:極板區根據被處理氣體的流量,極板間的電壓分12KV、16KV至42KV,極板間加以足夠高的電壓,在引風的作用下,極區由于負壓的作用,按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論,在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。根據三類的功能區,集中的目的是實現低溫等離子體,由于理論和實際使用條件上的區別,單一的方法獲得低溫等離子體,從功率上,外部條件上都存在差距。
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