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SOLIDWORKS參數化設計的思路和技巧我們講過很多了，今天來講一講如何在模型完成之后自動執行干涉檢查。SOLIDWORKS軟件本身就有干涉檢查的功能，在評估選項卡里可以找到該功能，我們這里說的干涉檢查指的是靜態干涉檢查，即模型在靜止時，零件之間是否有干涉存在，我們參數化完成之后，也是直接調用該功能來進行干涉檢查的。

使用一個單點光源，我們檢查了縫隙寬度和縫隙距離對干涉的影響；在擴展光源的情況下，我們觀察到干涉對比度如何隨光源的橫向擴展而變化。

在第一個例子中，使用高NA物鏡檢查非對稱微結構晶片，而在第二個例子中我們使用不同形狀的測試表面顯示了來自經典斐索干涉儀的輻照度圖案。用于微結構晶片檢測的光學系統該用例顯示了高NA晶片檢測系統的快速物理光學模擬，該系統通常用于半導體工業中檢測晶片上的缺陷。光學檢測用的斐索干涉儀借助非連續場追跡技術建立了斐索干涉儀，并顯示了來自幾個不同測試表面的干涉條紋。

由于這是一個模擬干涉儀如何測量表面形狀的雙通道模型，因此我們預計峰谷（0.433 waves）和 RMS（0.084 waves）波前誤差將與測量值相比翻倍，因為測量結果報告為透射。讓我們在 Wavefront Map 上仔細檢查一下。

為了仔細檢查數值結果，我們可以使用 Wavefront Map 分析。由于它是一個雙通模型，我們預計峰谷 (0.306 waves) 和 RMS (0.063 waves) 波前誤差值將與傳輸中報告的測量結果相比翻倍。

因此，對準直度的測量也很重要，而剪切干涉法經常被用于此類任務中。 在此示例中，我們演示了如何構建剪切干涉儀并將其用于測量準直。 通過改變光束準直系統(例如該示例中兩個透鏡之間的距離)，我們觀察到了來自剪切干涉儀的干涉條紋。

使用一個單點光源，我們檢查了縫隙寬度和縫隙距離對干涉的影響；在擴展光源的情況下，我們觀察到干涉對比度如何隨光源的橫向擴展而變化。

摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。 2. 建模任務 3.

雙縫干涉實驗最初由Thomas Young在19世紀初進行，它顯示了光的波動性質，是空間相干測量的重要技術。在VirtualLab Fusion中，我們用單點光源和擴展光源復現了Young的實驗。我們通過檢查干涉條紋對比度的變化來研究擴展源的相干特性。

雙縫干涉實驗最初由Thomas Young在19世紀初進行，它顯示了光的波動性質，是空間相干測量的重要技術。在VirtualLab Fusion中，我們用單點光源和擴展光源復現了Young的實驗。我們通過檢查干涉條紋對比度的變化來研究擴展源的相干特性。

[用例]?使用參數運行檢查影響/變化?參數運行文檔的使用[用例] VirtualLab Fusion技術 文件信息

摘要 白光干涉測量法是一種非接觸式技術，用于精確測量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設置和氙燈光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的光譜特性，即有限的相干長度，結果顯示僅當兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現干涉圖案。 1. 建模任務 2. 干涉條紋的變化 3.

[使用案例] 使用“參數運行”檢查影響/變化 “參數運行文件”的使用[使用案例] 6.VirtualLab Fusion 技術7.文件信息

[使用案例] 使用“參數運行”檢查影響/變化 “參數運行文件”的使用[使用案例] 6.VirtualLab Fusion 技術7.文件信息

[使用案例] 使用“參數運行”檢查影響/變化 “參數運行文件”的使用[使用案例] 6.VirtualLab Fusion 技術7.文件信息

因此，對準直度的測量也很重要，而剪切干涉法經常被用于此類任務中。 在此示例中，我們演示了如何構建剪切干涉儀并將其用于測量準直。 通過改變光束準直系統(例如該示例中兩個透鏡之間的距離)，我們觀察到了來自剪切干涉儀的干涉條紋。

摘要 楊氏干涉實驗是顯示光的波動特質的著名實驗之一。這是當今幾個量子光學實驗的基礎。我們通過使用可調節狹縫寬度和狹縫距離的雙狹縫，在 VirtualLab Fusion 中重現了這個著名的實驗。 使用一個單點光源，我們檢查了縫隙寬度和縫隙距離對干涉的影響；在擴展光源的情況下，我們觀察到干涉對比度如何隨光源的橫向擴展而變化。

最后，將鏡面類型更改為 Grid Sag surface，然后 OpticsStudio 生成 YYY.DAT 文件可以在 Surface Properties > Import 選項卡下導入到曲面，如下所示：此時，通過干涉測量法對凸面進行建模的雙通道系統應如下所示。現在，我們可以檢查表面矢高圖，以驗證鏡子的形狀。

摘要 掃描干涉儀是用于執行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現干涉圖樣。 因此，它可以實現精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。