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摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。 2. 建模任務 3.

摘要 掃描干涉儀是用于執行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現干涉圖樣。 因此，它可以實現精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

1.摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。

摘要 掃描干涉儀是用于執行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現干涉圖樣。 因此，它可以實現精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。

摘要 白光干涉測量法是一種非接觸式技術，用于精確測量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設置和氙燈光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的光譜特性，即有限的相干長度，結果顯示僅當兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現干涉圖案。 1. 建模任務 2. 干涉條紋的變化 3.

摘要 斐索干涉儀是工業上常用的一種光學測量儀器，常用于高精度的光學表面質量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術，我們建立了斐索干涉儀，并將其用于測試不同的光學表面，如柱面和球面，可以發現由此產生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。

VirtualLab Fusion技術 文件信息 應用用例 進一步閱讀 -基于激光的邁克爾遜干涉儀和干涉條紋觀測 -用于光學測試的Fizeau干涉儀

摘 要 斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。

：位置和方向[教程視頻] 設置組件的非序列通道? 非序列追跡的通道設置[用戶案例] VirtualLab Fusion技術 文件信息應用用例進一步閱讀 -基于激光的邁克爾遜干涉儀和干涉條紋觀測-用于光學測試的Fizeau干涉儀

5.總結馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算 4.仿真以光線追跡對干涉儀的仿真。 5.計算采用幾何場追跡+引擎以計算干涉圖樣。 6.研究不同計算誤差在干涉圖上的影響，如傾斜和偏移 利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分。

白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應用于材料科學等領域，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，是一種常見的光學輪廓測量儀器。但是許多人對白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測量同質材料？”進行深入探討。

VirtualLab Fusion可對系統進行詳細建模，包括由實際分束器引起的兩個90°相移。 馬赫曾德爾干涉儀 本案例中，在VirtualLab Fusion中設置了馬赫曾德爾干涉儀， 并演示了樣品組件的傾斜和移動如何影響干涉條紋。

摘要白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。 2. 建模任務 3.

摘要 斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。

VirtualLab Fusion可對系統進行詳細建模，包括由實際分束器引起的兩個90°相移。 馬赫曾德爾干涉儀 本案例中，在VirtualLab Fusion中設置了馬赫曾德爾干涉儀， 并演示了樣品組件的傾斜和移動如何影響干涉條紋。

白光干涉儀又叫做非接觸式光學3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實現表面輪廓的三維重建并可進行輪廓尺寸分析。

白光干涉儀測量原理 基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射 光最終匯聚并發生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起。

臺階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器，但還是有所不同。