[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀
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摘 要
斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備，它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀，并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖1](https://img.jishulink.com/msimage/202512/5e27e34970cbd6ceccf8a14ad5dc8808.png)
建模任務(wù)
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖2](https://img.jishulink.com/msimage/202512/44e0454769e441056c7c80a65a6bb784.png)
傾斜平面下的觀測(cè)條紋
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖3](https://img.jishulink.com/msimage/202512/6255ab81cb376e7c87494073d5e294ee.png)
圓柱面下的觀測(cè)條紋
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖4](https://img.jishulink.com/msimage/202512/89af0c767d0cca92f29d0c5499275e0c.png)
球面下的觀測(cè)條紋
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖5](https://img.jishulink.com/msimage/202512/6ba20e00873c0d7e8b2362681add2531.png)
VirtualLab Fusion 視窗
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖6](https://img.jishulink.com/msimage/202512/c8b35081a0ae3901b9a5706975fad3f4.png)
VirtualLab Fusion 流程
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖7](https://img.jishulink.com/msimage/202512/5b6253eaadfb790f34e51344fe8ab066.png)
VirtualLab Fusion 技術(shù)
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖8](https://img.jishulink.com/msimage/202512/87a229f274bf4b8e68f998ff9394e445.png)
文件信息
![[VirtualLab] 菲索光學(xué)測(cè)試干涉儀的圖9](https://img.jishulink.com/msimage/202512/cdabde7f6dceef95bf302297a482a44f.png)
詳細(xì)閱讀
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