01/簡介 隨著集成電路制程向先進節點迭代，光刻成像的焦面精度對圖形保真度的影響愈發顯著，最佳焦面處的成像性能直接決定芯片制造良率。光源-掩模協同優化（SMO）作為分辨率增強核心技術，其矢量模型因能精準刻畫偏振、三維掩模衍射等效應，成為先進制程優化的關鍵工具，而數值計算的精度與分析深度則是發揮其效能的核心前提。 本文聚焦最佳焦面成像性能，通過搭建標準化仿真條件

此外，該功能還支持物質結構測量與表面缺陷檢測，提升顯微鏡 / 望遠鏡成像質量，并借助相位信息實現高精度 3D 成像；矢量場傳播技術則在光通信、激光加工等領域起關鍵作用，為多模光纖等應用提供精準光束控制方案。 光柵解決方案 軟件的光柵解決方案支持多種結構設計（方波全息光柵、閃耀光柵等），涵蓋納米至毫米級特征尺寸，適用于衍射光柵、光伏系統等場景。

矢量成像模型憑借對光場偏振態、矢量傳播及復雜界面相互作用的精準刻畫，成為先進制程OPC技術的核心支撐，而矢量OPC優化算法的性能則直接決定了掩模修正的精度、效率及最終光刻良率，其技術突破已成為集成電路制造領域的關鍵研究課題。

在上述仿真條件下，利用三維矢量成像模型計算空間像的相對強度分布，并與二維矢量成像模型計算的空間像相對強度分布對比。二維和三維矢量成像模型仿真結果的差異如圖所示。 二維和三維矢量成像模型仿真結果的差異 結論：在某些仿真條件下，兩模型仿真結果差異并不明顯。

二維矢量成像模型與三維矢量成像模型仿真零像差非遠心物鏡成像結果 結論：三維矢量成像模型預測非雙遠心物鏡成像更精確。 當物鏡所成像不在無限遠處時，光線經過出瞳面后，其傳播方向在 z 軸上的方向余弦可以表示為：由橫向方向余弦（kx,ky）推導得出的平方根形式，具體會關聯到像面與出瞳面的位置參數（α?、α?、β?、β?）。

二維矢量成像模型雖能滿足平面圖形的偏振態表征需求，卻因忽略深度方向光場耦合與厚掩模衍射效應，無法適配三維堆疊圖形的成像預測。 三維矢量成像模型通過全空間矢量光場建模，可精準捕捉雙遠心光路下三維偏振演化與深度衍射規律，成為破解該瓶頸的關鍵。本文以零波像差雙遠心成像為視角，對比二維與三維矢量模型的適配性差異，重點聚焦三維模型的應用機理，為先進三維制程光刻精度提升提供理論支撐。

03/三維矢量成像模型中的三維偏振像差 在三維矢量成像模型中，光學系統入瞳面到出瞳面之間各級衍射光偏振態的變化可用的三維偏振追跡矩陣描述。 物鏡光瞳面上所有坐標點的三維偏振追跡矩陣組成三維偏振像差，可通過光線追跡程序獲取。三維偏振像差獲取程序將整個光瞳離散為網格點，追跡得到所有網格點對應光瞳坐標點的三維偏振追跡矩陣。

網格化的瓊斯光瞳獲取方法示意圖 5.局部與全局坐標系的變換 二維矢量成像模型假設入瞳面和出瞳面之間各級衍射光的傳播方向與光軸平行，若光軸方向為z軸，瓊斯光瞳建立在與z軸垂直的i?j坐標系。準確仿真像面成像結果需要出瞳面處x?y?z坐標系下的三維偏振矢量，所以二維矢量成像模型在出瞳面處將偏振態從二維i?j坐標系轉換到三維x?y?z坐標系。

零波像差非雙遠心、存在波像差：二者成像性能存在差異，三維矢量成像模型更具優勢 二維矢量成像模型與三維矢量成像模型仿真零像差非遠心物鏡成像結果 二維和三維矢量成像模型仿真結果的差異 在成像物鏡為存在像差的非理想系統時，三維矢量成像模型較二維矢量成像模型預測成像特性更精確。

具體來講，多傳感器數據融合原理如下： （1）多個不同類型傳感器（有源或無源）收集觀測目標的數據； （2）對傳感器的輸出數據（離散或連續的時間函數數據、輸出矢量、成像數據或一個直接的屬性說明）進行特征提取的變換，提取代表觀測數據的特征矢量Yi； （3）對特征矢量Yi進行模式識別處理（如聚類算法、自適應神經網絡或其他能將特征矢量Yi變換成目標屬性判決的統計模式識別法等），完成各傳感器關于目標的說明