課程大綱 1 VirtualLab Fusion軟件介紹 光之數字模型平臺原理介紹 電磁場的表達形式 VirtualLab Fusion用戶界面的基礎操作 2 基礎知識簡介 干涉發生的條件 楊氏雙縫干涉實驗特性 激光邁克爾遜干涉--非序列追跡和參數掃描功能介紹 3 干涉測量系統建模

課程大綱 1 VirtualLab Fusion光之數字模型平臺 光之數字模型平臺在精密系統檢測方面的工作原理 VirtualLab Fusion 用戶界面的基礎操作 VirtualLab Fusion中非序列追跡的通道配置 2 典型光學檢測系統建模與性能驗證 基礎邁克爾遜干涉儀建模仿真 OCT系統仿真-光學相干層析掃描干涉儀

利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。 2. 建模任務 3. 干涉條紋的變化 4.

VirtualLab Fusion可以幫助您對各種類型干涉儀進行建模，并將不同的光學表面和系統部件、甚至是傾斜和位移等對準錯誤都包含在模擬中。我們以兩個廣泛使用的干涉儀--Mach-Zehnder型和Fizeau型為例進行演示。

我們將忽略用于光線準直的光學器件，并從光線進入干涉儀開始建模。 OpticStudio有兩種方式來定義寬帶光源，第一種方式為在適當范圍內，定義多個系統波長；第二種方式將相干長度作為光源屬性定義。

在本案例中，光柵被用于單光柵干涉儀中，建模為僅相位透射函數（因為X射線波長遠小于光柵周期），并在VirtualLab Fusion中我們還檢查了其自成像。 建模任務 系統參數來自 N. Morimoto, et al., Opt.

本案例中，光柵被用于單光柵干涉儀中，建模為僅相位傳輸函數（因為X射線波長遠小于光柵周期），并在VirtualLab Fusion中檢查了其成像。

本案例中，光柵被用于單光柵干涉儀中，建模為僅相位傳輸函數（因為X射線波長遠小于光柵周期），并在VirtualLab Fusion中檢查了其成像。

1)衍射透鏡 2)高級PSF/MTF 3)鬼像 4)包含光柵的成像系統 基于高NA物鏡對微結構晶圓進行成像檢測 5.激光物理/激光系統 高速物理光學可以有效地實現對激光光源、衍射、干涉、偏振的建模，并且可以使用任意感興趣的光束參數。

利用一個邁克爾遜干涉儀系統和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現干涉圖樣。