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1890年代初期發明的馬赫曾德爾干涉儀(Mach-Zehnder interferometer)很快成為最受歡迎的干涉儀之一，如今仍在某些應用中使用。 由于其特征性的，分開的光路僅經過一次，因此它是一種高度可配置的儀器（例如相對于邁克爾遜干涉儀）。 使用兩個50:50分束器將準直光束分成兩部分，然后將它們在出口處重合在一起。

與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內會出現彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內才會出現清晰的、對比度高的干涉條紋。這是因為不同波長的光在非零光程差時，干涉條紋的位置和強度變化復雜，相互疊加后導致條紋模糊，而在零光程差處，各波長的光干涉條紋重合，形成清晰的條紋，這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現高精度的測量。

1890年代初期發明的馬赫曾德爾干涉儀(Mach-Zehnder interferometer)很快成為最受歡迎的干涉儀之一，如今仍在某些應用中使用。 由于其特征性的，分開的光路僅經過一次，因此它是一種高度可配置的儀器（例如相對于邁克爾遜干涉儀）。 使用兩個50:50分束器將準直光束分成兩部分，然后將它們在出口處重合在一起。

摘要 邁克爾遜干涉儀是光學干涉測量的典型裝置。 裝置中的不同配置可能導致不同的干涉條紋，因此，它們之間的關系非常值得去深入研究。借助VirtualLab Fusion中的非序列追跡技術，可以輕松設置和配置邁克爾遜干涉儀，并在不同情況下顯示干涉條紋。在該示例中，展示了幾種典型情況下相應的干涉條紋。

此外，讓我們假設來自每個表面的干涉數據彼此相同，雖然現實中是極不可能的，但我們將對這個練習做出假設。問題如下：我們是否可以在 OpticStudio 中將相同的干涉儀數據附加到鏡頭模型的左側和右側以模擬其測量性能？答案是否定的，我們需要調整數據方向，我們將在后面的討論中看到。

雙重防撞保護，給精密測量多一份保障 白光干涉儀作為精密測量儀器，其雙重防撞保護功能的重要性不言而喻。在各種復雜的測量環境中，無論是工業生產、科學研究還是其他領域，都可能面臨意外碰撞的風險。而SuperViewW白光干涉儀防撞機械電子傳感器和軟件 ZSTOP 防撞保護功能的雙重保障，能夠有效地保護儀器免受損壞，確保測量結果的準確性和可靠性。

摘要眾所周知，在干涉儀中，條紋對比度可能取決于光源的相干性。例如，在配有一定帶寬源的邁克爾遜干涉儀中，干涉條紋對比度隨著兩臂之間的光程差的增加而減小。通過測量可移動反射鏡在不同位置的干涉圖對比度，可以得出光源的相干長度。典型的傅立葉變換光譜學通常是基于這類光學裝置。

隨著新版本2023.1的發布，我們還提供了一種新的探測器概念，允許用戶直接根據場信息計算可能感興趣的任何物理量。為了了解所有這些工具的是如何工作的，我們展示了以下兩個示例。在第一個例子中，使用高NA物鏡檢查非對稱微結構晶片，而在第二個例子中我們使用不同形狀的測試表面顯示了來自經典斐索干涉儀的輻照度圖案。

摘要眾所周知，在干涉儀中，條紋對比度可能取決于光源的相干性。例如，在配有一定帶寬源的邁克爾遜干涉儀中，干涉條紋對比度隨著兩臂之間的光程差的增加而減小。通過測量可移動反射鏡在不同位置的干涉圖對比度，可以得出光源的相干長度。典型的傅立葉變換光譜學通常是基于這類光學裝置。

摘要 邁克爾遜干涉儀是光學干涉測量的典型裝置。 裝置中的不同配置可能導致不同的干涉條紋，因此，它們之間的關系非常值得去深入研究。借助VirtualLab Fusion中的非序列追跡技術，可以輕松設置和配置邁克爾遜干涉儀，并在不同情況下顯示干涉條紋。在該示例中，展示了幾種典型情況下相應的干涉條紋。

摘要 眾所周知，在干涉儀中，條紋對比度可能取決于光源的相干性。例如，在配有一定帶寬源的邁克爾遜干涉儀中，干涉條紋對比度隨著兩臂之間的光程差的增加而減小。通過測量可移動反射鏡在不同位置的干涉圖對比度，可以得出光源的相干長度。典型的傅立葉變換光譜學通常是基于這類光學裝置。

此外，讓我們假設來自每個表面的干涉數據彼此相同，雖然現實中是極不可能的，但我們將對這個練習做出假設。問題如下：我們是否可以在 OpticStudio 中將相同的干涉儀數據附加到鏡頭模型的左側和右側以模擬其測量性能？答案是否定的，我們需要調整數據方向，我們將在后面的討論中看到。

您可能會注意到當光束通過分束器時，光束中有一個小的偏心，我們忽略了它。但這也不難建模，如果您真的想要那么精確，只需調整主鏡上的偏心來補償。

摘要 眾所周知，在干涉儀中，條紋對比度可能取決于光源的相干性。例如，在配有一定帶寬源的邁克爾遜干涉儀中，干涉條紋對比度隨著兩臂之間的光程差的增加而減小。通過測量可移動反射鏡在不同位置的干涉圖對比度，可以得出光源的相干長度。典型的傅立葉變換光譜學通常是基于這類光學裝置。

在選擇激光共聚焦顯微鏡還是白光干涉儀時，應考慮以下因素： 1、分辨率和成像深度：如果需要對樣品進行深層三維成像，激光共聚焦可能是更好的選擇。 2、測量類型：對于需要精確表面形貌測量的應用，白光干涉儀可能更加適合。 3、速度：白光干涉儀通常能提供更快的測量速度，適合于工業在線檢測。

干涉條紋在臺階處會出現明顯的變化，通過對條紋的分析和計算可以得到臺階的精確高度。 應用場景：在半導體制造過程中，芯片上的不同功能區域之間可能存在臺階結構，例如金屬布線層與有源區之間的臺階。準確測量這些臺階高度對于后續的光刻、刻蝕等工藝的精度控制非常關鍵。在微機電系統（MEMS）制造中，也經常需要測量微小結構的臺階高度，以保證MEMS器件的性能和可靠性。

摘要掃描干涉法是實現表面高度測量的技術。通過利用白色光源的低相干性，只有當光程差在相干長度內，干涉圖案才會出現。因此，它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀，用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 建模任務 結果 文件信息

激光干涉儀是常用的機床、三坐標測量機幾何誤差檢測的手段。其中垂直度測量是通過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標測量機的垂直度誤差可能是導軌磨損、事故造成導軌損壞、機器地基差、正交軸上兩原點傳感器未準直等因素造成的，垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產生直接影響。

2.盡可能多地拾取數據，以確保在待測數據發生變化時，回程的數據相應變化。 各種系數也被拾取。模型完成后的光路圖如下所示。檢查波前像差圖。可以看出，波前像差為0.7642λpv和0.1762λRMS，是單透鏡的兩倍。 也可以看出，不對稱像差沒有問題（因為往返的光通量通過被測鏡頭上的同一個地方）。因此，Fizeau干涉儀輸出值的1/2是被測透鏡本身的波前像差。

為了保證導軌的高精度性能，激光干涉儀應運而生。 校準運動導軌的重要性 運動導軌的精度直接關系到整個設備的性能。在長時間運行和極端工況下，導軌可能會受到溫度、振動等外部因素的影響，導致其性能逐漸偏離理想狀態。通過激光干涉儀的診斷校準，可以及時發現并糾正這些偏差，確保導軌在高精度工作狀態下運行。