前言 在光學(xué)設(shè)計(jì)領(lǐng)域，鏡頭系統(tǒng)是核心研究對象，鏡頭相關(guān)設(shè)計(jì)與仿真在光學(xué)設(shè)計(jì)中占據(jù)著重要比重。傳統(tǒng)鏡頭分析多依托幾何鏡頭設(shè)計(jì)等專業(yè)工具，而在需要精細(xì)化衍射分析的實(shí)際場景中，光學(xué)仿真需兼顧衍射效應(yīng)等關(guān)鍵物理特性。本次我將以像散轉(zhuǎn)換器為實(shí)操案例，為大家講解如何通過 VirtualLab Fusion 導(dǎo)入鏡頭文件，完成包含衍射分析的光學(xué)系統(tǒng)仿真。 圖1. 模式像散轉(zhuǎn)換器概念圖 如圖1所示

摘要 非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大，元件的特征尺寸與光的波長相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確，需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設(shè)計(jì)，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱為嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）進(jìn)行嚴(yán)格的性能評估，包括在高度變化的情況下對優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究

01/簡介 隨著集成電路制程向先進(jìn)節(jié)點(diǎn)迭代，光刻成像的焦面精度對圖形保真度的影響愈發(fā)顯著，最佳焦面處的成像性能直接決定芯片制造良率。光源-掩模協(xié)同優(yōu)化（SMO）作為分辨率增強(qiáng)核心技術(shù)，其矢量模型因能精準(zhǔn)刻畫偏振、三維掩模衍射等效應(yīng)，成為先進(jìn)制程優(yōu)化的關(guān)鍵工具，而數(shù)值計(jì)算的精度與分析深度則是發(fā)揮其效能的核心前提。 本文聚焦最佳焦面成像性能，通過搭建標(biāo)準(zhǔn)化仿真條件

? 狹縫模擬 偏振體光柵(PVGs)模擬也可以用來識別一階反射率。 基于極坐標(biāo)圖和圖像結(jié)果文件，對考慮衍射效應(yīng)的光柵模型的設(shè)計(jì)有很大的幫助。 液晶顯示面板的光柵結(jié)構(gòu)產(chǎn)生了衍射圖樣。根據(jù)遠(yuǎn)場方程，將衍射光計(jì)算為輸出光通過光柵介質(zhì)的電場之和。

液晶顯示面板的光柵結(jié)構(gòu)產(chǎn)生了衍射圖樣。根據(jù)遠(yuǎn)場方程，將衍射光計(jì)算為輸出光通過光柵介質(zhì)的電場之和。 基于極坐標(biāo)圖和圖像結(jié)果文件，對考慮衍射效應(yīng)的光柵模型的設(shè)計(jì)有很大的幫助。 偏振體光柵(PVGs)模擬也可以用來識別一階反射率。 ? 狹縫模擬 （a）極坐標(biāo)圖 （b）顏色輪廓 （c）衍射強(qiáng)度 ? 液晶相位光柵模擬 （d）TRN數(shù)據(jù) （e）極坐標(biāo)圖

01/簡介 為驗(yàn)證矢量HSMO技術(shù)對工藝窗口（PW）的優(yōu)化效果，采用考慮離焦的像質(zhì)評價(jià)函數(shù) 02/仿真條件 以AttPSM為例，對比HSMO（聯(lián)合優(yōu)化光源+掩模）與OPC（僅優(yōu)化掩模，光源不變）技術(shù)。仿真目標(biāo)圖形包括一維孤立線條（占空比1:4，CD=45nm）、一維半密集線條（占空比1:2，CD=45nm）、二維密集接觸孔（占空比

設(shè)計(jì)任務(wù) 多焦點(diǎn)眼內(nèi)人工晶體植入術(shù)目前被廣泛應(yīng)用于治療白內(nèi)障。多焦點(diǎn)眼內(nèi)透鏡的優(yōu)點(diǎn)之一是能為患者提供良好的遠(yuǎn)近視力。在本示例中，我們演示了如何將初始設(shè)計(jì)導(dǎo)入 VirtualLabFusion，并在考慮實(shí)際二元結(jié)構(gòu)的情況下對晶狀體系統(tǒng)進(jìn)行建模。通過改變二元結(jié)構(gòu)的高度，我們進(jìn)一步研究了衍射透鏡的性能。

設(shè)計(jì)任務(wù) 使用近軸近似的衍射1：7×7分束器的初步設(shè)計(jì)，通過嚴(yán)格分析，進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作波長在相同的數(shù)量級上。因此，設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法

摘要 直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作波長在相同的數(shù)量級上。因此，設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評估。 設(shè)計(jì)任務(wù)

衍射擴(kuò)散器可以被設(shè)計(jì)來創(chuàng)建任何圖案。在這里，我們展示了 VirtualLab Fusion的一些可能性，以設(shè)計(jì)、優(yōu)化、建模和仿真這種衍射光學(xué)元件（DOE）并把公司的標(biāo)志投射到一幢大樓上。有不同的方法來生成光的圖案。利用相干激光和衍射擴(kuò)散器元件，可以實(shí)現(xiàn)良好的效率和有趣的光紋理，這將在下面進(jìn)行演示。