通過從元器件仿真到容差分析到鏈路仿真的閉環(huán)工具鏈，完成高精度器件與模型庫(kù)的開發(fā)，縮短PDK迭代周期。最后介紹基于Ansys仿真工具開發(fā)的創(chuàng)新中心自有的國(guó)產(chǎn)12英寸硅光平臺(tái)和配套PDK，可應(yīng)用于高速通信、量子、光計(jì)算、傳感等領(lǐng)域。

摘要 光纖可以沒有損耗地長(zhǎng)距離傳輸光的能力，是使它們成為如此受歡迎元件的特點(diǎn)之一。然而，光纖的耦合效率通常對(duì)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)極為敏感，尤其是對(duì)于纖芯直徑相對(duì)較小的單模光纖。這個(gè)例子選擇了一個(gè)設(shè)計(jì)良好的光纖耦合透鏡，并根據(jù)不同的容差因素來評(píng)估耦合效率，例如光纖末端位置的偏移和耦合透鏡的傾斜。 建模任務(wù) 導(dǎo)入透鏡文件 光纖耦合效率探測(cè)器 參數(shù)運(yùn)行

衍射光束分束器表面 衍射光束求解器 - TEA & FMM 光柵級(jí)數(shù) & 可編程光柵分析器 設(shè)計(jì)與評(píng)估結(jié)果： ? 相位函數(shù)設(shè)計(jì) ? 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) ? TEA 評(píng)估 ? FMM 評(píng)估 ? 高度縮放檢查（用于優(yōu)化/容限） 僅相位傳輸設(shè)計(jì) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 使用TEA進(jìn)行性能評(píng)估 使用FMM進(jìn)行性能評(píng)估 進(jìn)一步的分析（優(yōu)化后，容差分析

我們使用新發(fā)布的Parameter Variation Analyzer來執(zhí)行設(shè)置的容差分析，并計(jì)算一個(gè)評(píng)價(jià)函數(shù)，該函數(shù)計(jì)算了不同填充因子下工作級(jí)次的平均效率。

制造容差分析：工藝魯棒性驗(yàn)證 研究團(tuán)隊(duì)系統(tǒng)評(píng)估了刻蝕深度、孔徑偏差、多晶硅齒尺寸誤差等對(duì)性能的影響，結(jié)果顯示： 刻蝕深度偏差±10 nm時(shí)，效率仍>50%；多晶硅齒直徑誤差<40 nm時(shí)，波長(zhǎng)偏移可控；雙層對(duì)準(zhǔn)偏差容限達(dá)60 nm（y方向），確保量產(chǎn)可行性。 3.

光纖耦合設(shè)置的容差分析 在光纖耦合光學(xué)裝置中，分析耦合效率的容差因素，例如光纖末端位置的偏移和透鏡的傾斜。

對(duì)于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 摘要

對(duì)于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對(duì)于這些應(yīng)用，傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘Ｔ诖耸纠校榻B了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于給定的方向級(jí)次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。

設(shè)計(jì)任務(wù) 1級(jí)參數(shù)優(yōu)化 結(jié)果-容差分析 結(jié)果-容差分析 VirtualLab Fusion一瞥 VirtualLab Fusion中的工作流程 構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) ?使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定 [用例] ?傾斜光柵高級(jí)設(shè)定 [用例]

隨機(jī)分布的容差分析 在這個(gè)用例中，我們展示了一個(gè)可定制的參數(shù)運(yùn)行，允許用戶采用不同的隨機(jī)分布來實(shí)現(xiàn)容差分析的目的。用戶可以選擇均勻分布、正態(tài)分布和截止正態(tài)分布，甚至可以將這些不同的分布函數(shù)包含在同一參數(shù)運(yùn)行中，為不同參數(shù)進(jìn)行容差分析。