摘要

 

對于許多應用來說（例如背光、光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導結構中是一個重要的問題。對于這些應用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優化。對于給定的方向級次，優化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 

 

設計任務

 

1級參數優化

 

結果-容差分析

 

結果-容差分析

 

VirtualLab Fusion一瞥

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

構建光柵結構

?使用特殊材料的光柵結構設定[用例]

?傾斜光柵高級設定[用例]

?光柵衍射效率分析

?光柵階序分析器[用例]

?使用參數優化進行光柵參數優化

?使用參數運行的容差分析

 

VirtualLab Fusion技術

 

文件信息

 

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