傾斜光柵的參數優化與容差分析

對于許多應用來說(例如背光、光學連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導結構中是一個重要的問題。對于這些應用,傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中,介紹了使用嚴格的傅里葉模態法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行優化。對于給定的方向級次,優化的光柵展示出超過90%的衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 
 
摘要
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖1
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖2
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖3
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖4
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