傾斜光柵的參數優化與容差分析


對于如背光、光學連接器和近眼顯示等許多應用來說,光如何高效地耦合到波導結構中是一個重要問題。對于這些應用,眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴格的傅立葉模態法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行優化。對于預定義方向的級次,優化得到的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
摘要
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖1
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖2
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖3
傾斜光柵的參數優化與容差分析的圖4
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