2)光路傳輸控制裝置。該裝置主要包括光快門、光衰減器、擴束器、反光鏡、分束鏡等,用于調(diào)節(jié)光束功率、光束截面的大小,聚焦及光束通斷。3)光路掃描系統(tǒng)。激光聚焦點相對工件臺的掃描方式有兩種,一種是聚焦點不動,三維位移臺帶動光刻膠樣品移動,該系統(tǒng)的缺點是三維運動臺的掃描速度慢,啟停響應(yīng)慢;另一種是由二維XY方向掃描振鏡和一維Z向位移臺組合而成的掃描系統(tǒng),具有掃描速度高和動態(tài)響應(yīng)快的優(yōu)點,打印效率較高。