對(duì)于該示例,根據(jù)理論預(yù)期,我們將使用Binary 1表面類型,將其相位分布描述為以下X、Y的擴(kuò)展多項(xiàng)式:其中φ:超透鏡表面上的相位M: 衍射級(jí)次N: 系列中多項(xiàng)式系數(shù)的項(xiàng)數(shù)x,y:相對(duì)于超透鏡半徑的歸一化空間坐標(biāo)出于對(duì)稱性考慮,為了避免在生成過于復(fù)雜相位掩膜的同時(shí)并不會(huì)帶來顯著的改善,我們僅在優(yōu)化過程中將x^2項(xiàng)的系數(shù)設(shè)置為變量,并使用RMS