國內(nèi)CVD單晶以上海征世、寧波晶鉆、沃爾德等企業(yè)為代表,但只能提供寶石級單晶及普通級的單晶襯底,其材料質(zhì)量離滿足半導體應用的電子級金剛石仍有較大差距。國內(nèi)半導體金剛石材料仍處于研發(fā)階段,尚未有產(chǎn)業(yè)化案例。國內(nèi)金剛石半導體材料和器件研究,主要集中在高校以及研究所,包括中科院半導體所、西安電子科技大學、中科院金屬所、西安交通大學、北京科技大學等。
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第三代半導體聯(lián)合創(chuàng)新孵化中心 ??? 3年前