研究成果以“Flexible Large?Area Graphene Films of 50–600 nm Thickness with High Carrier Mobility”為題發(fā)表于《Nano-Micro Letters》。 l 03圖文導(dǎo)讀 圖1. 超薄自支撐GO/PAN薄膜的制備。 圖2. 基于PAN原子氣體溢出通道。 圖3. nMAG的結(jié)構(gòu)和柔性。
特別是三星電子在3nm工藝量產(chǎn)后,為了量產(chǎn)2nm工藝,也有必要主動確保High NA EUV設(shè)備。據(jù)推測,現(xiàn)有的EUV設(shè)備價格為2000億至3000億韓元(約10~15億人民幣),而High NA EUV設(shè)備價格高達5000億韓元(約25億人民幣)。根據(jù)ASML在當(dāng)天發(fā)布的第三季度經(jīng)營業(yè)績,公司實現(xiàn)凈銷售額58億歐元,毛利率為51.8%,當(dāng)期凈利潤為17億歐元。