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關注創建者:匿名 創建時間:2026-01-04

光學測量儀器的實例教程
歷經20年的技術積累和發展實踐,研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能提供從納米到百米的精密測量解決方案。
未來,中圖儀器仍將繼續專注于精密測量檢測技術的發展,自強不息、知難而上、勇于創新,為中國制造技術的快速發展貢獻力量!
其中表面形貌的3D測量,包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量,是微納結構測量最為基礎和重要的項目。目前常用的微結構表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。
運用非接觸式測量技術的3D光學檢測儀器,大多是基于光學方法(干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等),可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量,在微納米結構檢測中有著重要意義。
中圖儀器基于3D光學成像測量非接觸、操作簡單、速度快等優點,以光學測量技術創新為發展基礎,研發出了常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器等,能提供從納米到百米的精密測量解決方案。
1、自動聚焦法-影像測量儀
自動聚焦法是基于幾何光學的物象共軛關系,能使得場景目標在成像系統中準確清晰成像的某種自動調節過程,當照明光斑匯聚在被測面時,進一步調整檢測頭與表面的距離,直至光斑像尺寸最小而得到該被測位置的相對高度。
Novator系列復合式影像儀是一款能充分發揮光學電動變倍鏡頭高精度優勢的全自動影像測量儀。
支持點激光輪廓掃描測量,進行高度方向上的輪廓測量;
支持線激光3D掃描成像,可實現3D掃描成像和空間測量;
支持頻閃照明和飛拍功能,可進行高速測量,提升測量效率;
具有可獨立升降和可更換RGB光源,可適應更多復雜工件表面。
2、共焦激光掃描顯微法-共聚焦顯微鏡
激光共焦掃描顯微術是一項高分辨率三維光學成像技術。利用精密共焦空間濾波結構,通過物象共軛關系濾除焦點外的反射光,提高成像的可見度。共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔,其中一個放在光源前面,另一個放在探測器前面。
展開 RT7512長波紅外分光光度計是用于測試平面光學鏡片的透過率與反射率。
產品特點
1.測試波段可達7.5μm-12.5μm
2.儀器采用單色儀方案,并非傅里葉紅外變換,因此具有更好的測量精度與更好的信噪比
3.可在0-60°范圍內對平面鏡片或棱鏡進行測試
4.具有探測器自動位移功能,補償位移可達40mm
5.內置起偏器,可實現7.5μm-12.5μm偏振態測試
產品優點
1.測試透過率時入射角范圍0-60°
2.測量比較厚的樣品有光束位移補償
3.儀器內部有一個單色儀,并不是使用傅里葉變換紅外技術制造,所以噪聲水平更好,測量精度更高
4.內置偏振組件,并且偏振組件是全范圍的偏振
5.采樣間距可達0.5nm-100nm
產品規格
樣品臺旋轉步進間距0.01°
波長采樣間距0.5-100nm
光斑尺寸6.0×3.0mm
測試精度±0.2%
測試重復精度±0.1%
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展開 如何在只有一臺測試儀器下快速完成模態測試?
如何直觀有效的針對高速旋轉機械進行振動測試?
如何在不引入多余質量的前提下對薄板、光滑或粗糙的表面進行振動測試?
針對上述問題,懿朵科技引進德國Optomet公司開發的全球頂尖光學測量儀器,利用先進的激光源和干涉測量法實現在不同尺寸和不同物體表面進行振動分析,并且這種非接觸式的振動測量完全無附加質量影響,相比傳統的測量儀器更加精準、快速,在工業和研究領域應用廣泛,成為無損檢測分析不可或缺的工具。
顯微測量儀是納米級精度的表面粗糙度測量技術。它利用光學、電子或機械原理對微小尺寸或表面特征進行測量,能夠提供納米級甚至更高級別的測量精度,這對于許多科學和工業應用至關重要。
在拋光至粗糙表面測量中,中圖儀器的顯微測量儀器具有從0.1nm到1mm的測量范圍,每種儀器都有其獨特的功能和應用范圍。
三種不同顯微測量技術在測量表面粗糙度方面的優勢詳解
一、光學3D表面輪廓儀
工作原理:
1.光源與分光:儀器的光源發出的光束首先通過擴束準直,然后通過分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測表面,另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉:從被測表面反射回來的光束與從參考鏡反射回來的光束在分光棱鏡處匯聚,由于兩束光在不同的路徑上行進,它們之間存在光程差。當兩束光的光程差為半波長的整數倍時,它們會發生干涉,形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析:光學3D表面輪廓儀將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號。通過測量這些干涉條紋的變化,可以推算出被測表面的三維形貌。系統軟件對這些數據進行處理和分析,從而得到表面的粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數。
測量能力:
1.粗糙度測量范圍:SuperViewW光學3D表面輪廓儀能夠測量從超光滑表面(0.1nm粗糙度)到相對粗糙表面(1mm粗糙度)的三維形貌。
2.垂直分辨率:SuperViewW光學3D表面輪廓儀可以達到0.1nm的垂直分辨率,這對于測量光滑表面的微小高度變化至關重要。
3.水平分辨率:水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小,它決定了可以測量的最小特征尺寸。
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引言
在高速列車、航空航天、船舶制造等高端裝備領域,大型階梯軸作為核心傳動部件,其直徑測量精度直接決定了裝備的裝配精度與運行可靠性。傳統測量方法受限于接觸式干擾、環境敏感性等問題,難以滿足現代工業對高精度、高效率測量的需求。光學成像測量法憑借非接觸、抗干擾強等優勢成為主流選擇,但透鏡裝配偏心導致的光軸不重合、測量誤差大等技術瓶頸,長期制約著測量精度的提升。長春理工大學段潔副教授團隊基于Zemax
相約長三角儀器展,鏈接全球智造伙伴
2026江蘇測量控制與儀器儀表展會
時間:2026年7月16日-18日 地點: 南京國際展覽中心
邀請函
扎根長三角與機遇相擁
聚焦前沿科技、共探行業未來
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相約長三角儀器儀表展 一站式解鎖行業寶藏資源
市場概況
本屆展會恰逢行業智能化轉型加速期與國產替代黃金期,
用于光學測量的菲索干涉儀6個月前
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摘要
光學計量學是精確測量的重要技術。例如,它經常被用于表面測試,因此在質量控制中發揮著重要作用。VirtualLab Fusion可以幫助您對各種類型干涉儀進行建模,并將不同的光學表面和系統部件、甚至是傾斜和位移等對準錯誤都包含在模擬中。我們以兩個廣泛使用的干涉儀--Mach-Zehnder型和Fizeau型為例進行演示。
Mach-Zehnder干涉儀
摘要
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