用于光學測量的菲索干涉儀

斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備,它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
 
摘要
用于光學測量的菲索干涉儀的圖1
用于光學測量的菲索干涉儀的圖2
用于光學測量的菲索干涉儀的圖3
用于光學測量的菲索干涉儀的圖4
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