用于光學(xué)檢測(cè)的斐索干涉儀

摘要

用于光學(xué)檢測(cè)的斐索干涉儀的圖1

建模任務(wù)
 
斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測(cè)量?jī)x器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。
用于光學(xué)檢測(cè)的斐索干涉儀的圖2
用于光學(xué)檢測(cè)的斐索干涉儀的圖3
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用于光學(xué)檢測(cè)的斐索干涉儀的圖5
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