在從動(dòng)軸加載之前(t < 0.047 s),齒輪傳動(dòng)組件的慣性會(huì)導(dǎo)致齒輪在存在齒隙的情況下發(fā)出嘎嘎的響聲。齒輪的響聲會(huì)引起軸的扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。因此,輪輞(主動(dòng)齒輪)在基本上跟隨主動(dòng)軸的規(guī)定速度,存在一定的波動(dòng)。由于齒隙的存在,小齒輪(從動(dòng)齒輪)在空轉(zhuǎn)期間不考慮齒輪比。從動(dòng)軸在 t = 0.047 s 后被加載。這會(huì)在軸中引起更大的扭轉(zhuǎn)振動(dòng),并且可以看到角速度與規(guī)定值的較大偏差。
其他工具需要軟件/增益/硬件調(diào)整,以適應(yīng) SiC 不透明的波長(zhǎng)。需要 SiC 計(jì)量/檢測(cè)工具。SiC晶圓相對(duì)缺乏平整度會(huì)使光刻和其他加工變得復(fù)雜,特別是高壓設(shè)備(厚漂移外延層)。高溫工藝會(huì)進(jìn)一步降低晶圓的平整度。CMP可以在制造的各個(gè)階段使晶圓平整。絕緣電介質(zhì):厚電介質(zhì)沉積在 SiC 中。評(píng)估沉積的介電缺陷對(duì)邊緣端接和器件可靠性的影響。