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激光剝離技術(shù)和激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)在前兩期中均有詳細(xì)講述（可點擊文末鏈接查看），本期我們重點講述Micro LED制程中最重要的環(huán)節(jié)之一—激光巨量鍵合技術(shù)。

根據(jù)智慧芽最新發(fā)布的《2023 Micro-LED產(chǎn)業(yè)技術(shù)洞察白皮書》顯示，在巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)領(lǐng)域，該方向領(lǐng)頭的創(chuàng)新主體以美國蘋果和XDC為主，兩者在巨量轉(zhuǎn)移方向技術(shù)儲備最多。值得一提的是，白皮書中針對蘋果（包括其收購的Luxvue）公司的核心專利家族進(jìn)行了詳細(xì)的解讀，深入拆解了蘋果圍繞巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)開展的全面的專利保護(hù)布局。

Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)示意圖大族半導(dǎo)體自2019年開始對激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)進(jìn)行布局，探索應(yīng)對Micro LED芯片轉(zhuǎn)移要求的關(guān)鍵解決方案，于2021年11月，自主研發(fā)并推出國內(nèi)首臺固體Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備；于2022年10月，自主研發(fā)并推出國內(nèi)首臺準(zhǔn)分子Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備，均通過頭部客戶驗證，實現(xiàn)銷售。

據(jù)了解，大族半導(dǎo)體于2021年5月率先推出了固體激光巨量轉(zhuǎn)移樣機(jī)，并在2022年7月推出了準(zhǔn)分子激光巨量轉(zhuǎn)移樣機(jī)。目前兩套系統(tǒng)均已經(jīng)實現(xiàn)了2.5代線，轉(zhuǎn)移精度小于2微米的穩(wěn)定量產(chǎn)，并已小批量合同出貨。莊昌輝指出，高精度高效率的自動化對位加工、光斑調(diào)制以及與激光相匹配的材料研發(fā)是激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)研發(fā)中的三大瓶頸。

“VueReal的巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)平臺是下一代Micro-LED顯示器商業(yè)化的關(guān)鍵技術(shù)之一。Micro-LED顯示器在降低能耗的同時還可以提供更好的性能，這將為日常電子消費品的革新提供動力。我們期待著和TDK、Vitro、BDC 和 EDC等投資公司一起，在VueReal的成長中為其提供足夠的支持”，Cycle Capital的創(chuàng)始人兼管理合伙人Andrée-Lise Méthot說道。

工藝示例作為一個工藝示例，我們借此理解下基于光致聚合物的巨量轉(zhuǎn)移工藝，其完整工藝步驟如圖1所示。Terecircuits的設(shè)備和工藝可以使用SiP或Micro-LED芯片等基本器件組裝完成顯示面板等完整的系統(tǒng)，不需要像傳統(tǒng)拾取和放置工藝一樣就能高速實現(xiàn)亞微米級器件放置精度。

創(chuàng)維光顯主要投入Micro/Mini LED的技術(shù)研發(fā)，擁有相關(guān)巨量轉(zhuǎn)移、巨量檢查、巨量測試、巨量修復(fù)的核心技術(shù)，可以有效提高制造良率。創(chuàng)維集團(tuán)武漢Mini LED顯示科技產(chǎn)業(yè)園項目于2022年9月29日在武漢動工，建成后將形成年產(chǎn)超過240萬臺、年產(chǎn)值超100億元Mini LED電視 & RGB直顯大型智能化制造基地，預(yù)計2023年2季度投產(chǎn)。

對于巨量轉(zhuǎn)移的技術(shù)難點，康佳成功開發(fā)出“混合式巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)”，目的便是突破 Micro LED顯示屏巨量轉(zhuǎn)移的瓶頸難題。具體來看，康佳研究院在兩英寸穿戴顯示屏上，成功轉(zhuǎn)移了25萬顆芯片，形成126.9 μm間距的RGB三色全彩顯示，且三色全彩的轉(zhuǎn)移良率達(dá)到99.9%-99.99 %, 分辨率超過200 PPI ，大幅提升了Micro LED的巨轉(zhuǎn)良率和效率。

圖3 來源：eLux顯示公司展示的巨量轉(zhuǎn)移方案首先，最為業(yè)內(nèi)人士研究和忌憚的還是巨量轉(zhuǎn)移問題。在中國，所謂“巨量轉(zhuǎn)移”就是將Micro-LED芯片移動到驅(qū)動背板上的過程。上面提到的不同顏色的InGaN和AlGaInP LED，即紅綠藍(lán)單色LED芯片，生長在不同的晶圓上。在晶圓上進(jìn)行外延生長有一種相對成熟的解決方案。當(dāng)然，這個過程本身也不同于傳統(tǒng)的解決方案。

為了解決巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)的瓶頸問題，眾多研究機(jī)構(gòu)和公司致力于開發(fā)更高效的制程技術(shù)。其中，彭信翰介紹海目星激光利用最新的激光和光學(xué)技術(shù)，已實現(xiàn)了激光巨量轉(zhuǎn)移的全流程工藝。該技術(shù)可以實現(xiàn)高精度的轉(zhuǎn)移，同時大大提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，為MicroLED商業(yè)化帶來了新的希望。 演講主題：《先進(jìn)半導(dǎo)體制程及晶圓檢測技術(shù)介紹》 演講嘉賓：COWIN (韓國) 總裁 S.I.

演講主題：《Micro LED顯示研發(fā)進(jìn)度及激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)分享》演講嘉賓：大族半導(dǎo)體Mini LED巨量轉(zhuǎn)移項目中心 研發(fā)總監(jiān) 莊昌輝大族半導(dǎo)體Mini LED巨量轉(zhuǎn)移項目中心研發(fā)總監(jiān)莊昌輝詳細(xì)介紹了大族半導(dǎo)體在Micro LED顯示技術(shù)上的五年研發(fā)歷程，強(qiáng)調(diào)Micro LED在商顯民用大屏、車載和AR等領(lǐng)域的核心應(yīng)用。

中國科學(xué)院院士鄭有炓為大會致辭的時候說道：“業(yè)界正努力向Micro LED量產(chǎn)化的解決方案攻關(guān)，解決包括芯片的外延、驅(qū)動、巨量轉(zhuǎn)移等技術(shù)難關(guān)。我們南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院在Micro LED技術(shù)材料利用基于III族氮化物半導(dǎo)體的Micro LED器件提升量子效率與RGB顯示指數(shù)，從而有效解決Micro LED顯示技術(shù)研發(fā)過程中仍面臨巨量轉(zhuǎn)移、紅光缺失等科學(xué)難題。”

Kulicke and Soffa去年11月份才推出LUMINEX系統(tǒng)，它為市場提供了一種基于激光驅(qū)動的Mini-LED和Micro-LED芯片顛覆性巨量轉(zhuǎn)移解決方案。該系統(tǒng)具有非常高的靈活性，它不僅能夠進(jìn)行單芯片轉(zhuǎn)移、多芯片轉(zhuǎn)移和巨量轉(zhuǎn)移，還支持LED分bin、混bin、重定位和轉(zhuǎn)移等工藝步驟。

不過，“憑借Porotech的多孔GaN技術(shù)及其可擴(kuò)展架構(gòu)，PoroGaN 平臺已經(jīng)實現(xiàn)了芯片拾取和巨量轉(zhuǎn)移工藝的極大簡化，”朱博士說。 “在微型顯示器的制程中，PoroGaNg平臺通過直接將外延片與驅(qū)動背板進(jìn)行晶圓級鍵合消除了傳統(tǒng)方案中的巨量轉(zhuǎn)移需求。

這些都大大緩解了，太湖之光上非結(jié)構(gòu)網(wǎng)格計算加速的巨量開發(fā)問題和離散訪存問題。UNAT更是通過一套耦合算子機(jī)制，將熱點進(jìn)行分解融合，采用循環(huán)時空二維分解，跨循環(huán)數(shù)據(jù)復(fù)用等策略，有效緩解了非結(jié)構(gòu)網(wǎng)格計算密度低的問題和硬件上的內(nèi)存帶寬瓶頸。其中原理較為復(fù)雜，具體可以參考文末論文[2]（見文章底部“閱讀原文”）。

MicroSolidTM印刷平臺能夠解決當(dāng)前大規(guī)模采用Micro-LED顯示器的首要挑戰(zhàn)，即將巨量的LED芯片從晶圓高效轉(zhuǎn)移到驅(qū)動背板上。據(jù)介紹，VueReal的這項專利工藝能夠以無與倫比的效率、可擴(kuò)展性和高產(chǎn)量轉(zhuǎn)移數(shù)百萬顆微米大小的LED芯片。

這些都大大緩解了，太湖之光上非結(jié)構(gòu)網(wǎng)格計算加速的巨量開發(fā)問題和離散訪存問題。UNAT更是通過一套耦合算子機(jī)制，將熱點進(jìn)行分解融合，采用循環(huán)時空二維分解，跨循環(huán)數(shù)據(jù)復(fù)用等策略，有效緩解了非結(jié)構(gòu)網(wǎng)格計算密度低的問題和硬件上的內(nèi)存帶寬瓶頸。其中原理較為復(fù)雜，具體可以參考文末論文[2]（見文章底部“閱讀原文”）。

這些特性有望助力整個Micro-LED工藝消除巨量轉(zhuǎn)移過程，”Kimoon Lee說。據(jù)介紹，Soft-Epi目前已經(jīng)成功地在同一個外延晶片上長出紅色和綠色LED芯片。

為了處理巨量駕駛數(shù)據(jù)，特斯拉將把針對自監(jiān)督學(xué)習(xí)技術(shù)的研發(fā)提高到絕對優(yōu)先級。特斯拉啟動了一個代號為Dojo 的重大項目，它是一臺超強(qiáng)的訓(xùn)練計算機(jī)，處理的數(shù)據(jù)不再停留在圖片層面，而是針對視頻類的數(shù)據(jù)，能夠以較低的成本實現(xiàn)算法性能的指數(shù)級提升。

專家們將從市場、技術(shù)、應(yīng)用等方面分享多場主題報告，內(nèi)容覆蓋半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)、Micro LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)、半導(dǎo)體制程與晶圓檢測、新能源汽車的激光應(yīng)用等前沿技術(shù)應(yīng)用。我們誠摯歡迎來自泛半導(dǎo)體制程領(lǐng)域的專家、學(xué)者、企業(yè)家蒞臨，一起謀產(chǎn)業(yè)機(jī)會、促行業(yè)發(fā)展，共同探討光子技術(shù)在泛半導(dǎo)體制程領(lǐng)域的應(yīng)用大局。