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激光剝離技術和激光巨量轉移技術在前兩期中均有詳細講述（可點擊文末鏈接查看），本期我們重點講述Micro LED制程中最重要的環節之一—激光巨量鍵合技術。

根據智慧芽最新發布的《2023 Micro-LED產業技術洞察白皮書》顯示，在巨量轉移技術領域，該方向領頭的創新主體以美國蘋果和XDC為主，兩者在巨量轉移方向技術儲備最多。值得一提的是，白皮書中針對蘋果（包括其收購的Luxvue）公司的核心專利家族進行了詳細的解讀，深入拆解了蘋果圍繞巨量轉移技術開展的全面的專利保護布局。

Micro LED激光巨量轉移技術示意圖大族半導體自2019年開始對激光巨量轉移技術進行布局，探索應對Micro LED芯片轉移要求的關鍵解決方案，于2021年11月，自主研發并推出國內首臺固體Micro LED激光巨量轉移設備；于2022年10月，自主研發并推出國內首臺準分子Micro LED激光巨量轉移設備，均通過頭部客戶驗證，實現銷售。

據了解，大族半導體于2021年5月率先推出了固體激光巨量轉移樣機，并在2022年7月推出了準分子激光巨量轉移樣機。目前兩套系統均已經實現了2.5代線，轉移精度小于2微米的穩定量產，并已小批量合同出貨。莊昌輝指出，高精度高效率的自動化對位加工、光斑調制以及與激光相匹配的材料研發是激光巨量轉移技術研發中的三大瓶頸。

“VueReal的巨量轉移技術平臺是下一代Micro-LED顯示器商業化的關鍵技術之一。Micro-LED顯示器在降低能耗的同時還可以提供更好的性能，這將為日常電子消費品的革新提供動力。我們期待著和TDK、Vitro、BDC 和 EDC等投資公司一起，在VueReal的成長中為其提供足夠的支持”，Cycle Capital的創始人兼管理合伙人Andrée-Lise Méthot說道。

工藝示例作為一個工藝示例，我們借此理解下基于光致聚合物的巨量轉移工藝，其完整工藝步驟如圖1所示。Terecircuits的設備和工藝可以使用SiP或Micro-LED芯片等基本器件組裝完成顯示面板等完整的系統，不需要像傳統拾取和放置工藝一樣就能高速實現亞微米級器件放置精度。

創維光顯主要投入Micro/Mini LED的技術研發，擁有相關巨量轉移、巨量檢查、巨量測試、巨量修復的核心技術，可以有效提高制造良率。創維集團武漢Mini LED顯示科技產業園項目于2022年9月29日在武漢動工，建成后將形成年產超過240萬臺、年產值超100億元Mini LED電視 & RGB直顯大型智能化制造基地，預計2023年2季度投產。

對于巨量轉移的技術難點，康佳成功開發出“混合式巨量轉移技術”，目的便是突破 Micro LED顯示屏巨量轉移的瓶頸難題。具體來看，康佳研究院在兩英寸穿戴顯示屏上，成功轉移了25萬顆芯片，形成126.9 μm間距的RGB三色全彩顯示，且三色全彩的轉移良率達到99.9%-99.99 %, 分辨率超過200 PPI ，大幅提升了Micro LED的巨轉良率和效率。

圖3 來源：eLux顯示公司展示的巨量轉移方案首先，最為業內人士研究和忌憚的還是巨量轉移問題。在中國，所謂“巨量轉移”就是將Micro-LED芯片移動到驅動背板上的過程。上面提到的不同顏色的InGaN和AlGaInP LED，即紅綠藍單色LED芯片，生長在不同的晶圓上。在晶圓上進行外延生長有一種相對成熟的解決方案。當然，這個過程本身也不同于傳統的解決方案。

為了解決巨量轉移技術的瓶頸問題，眾多研究機構和公司致力于開發更高效的制程技術。其中，彭信翰介紹海目星激光利用最新的激光和光學技術，已實現了激光巨量轉移的全流程工藝。該技術可以實現高精度的轉移，同時大大提高了生產效率和產量，為MicroLED商業化帶來了新的希望。 演講主題：《先進半導體制程及晶圓檢測技術介紹》 演講嘉賓：COWIN (韓國) 總裁 S.I.

演講主題：《Micro LED顯示研發進度及激光巨量轉移技術分享》演講嘉賓：大族半導體Mini LED巨量轉移項目中心 研發總監 莊昌輝大族半導體Mini LED巨量轉移項目中心研發總監莊昌輝詳細介紹了大族半導體在Micro LED顯示技術上的五年研發歷程，強調Micro LED在商顯民用大屏、車載和AR等領域的核心應用。

中國科學院院士鄭有炓為大會致辭的時候說道：“業界正努力向Micro LED量產化的解決方案攻關，解決包括芯片的外延、驅動、巨量轉移等技術難關。我們南京大學電子科學與工程學院在Micro LED技術材料利用基于III族氮化物半導體的Micro LED器件提升量子效率與RGB顯示指數，從而有效解決Micro LED顯示技術研發過程中仍面臨巨量轉移、紅光缺失等科學難題。”

Kulicke and Soffa去年11月份才推出LUMINEX系統，它為市場提供了一種基于激光驅動的Mini-LED和Micro-LED芯片顛覆性巨量轉移解決方案。該系統具有非常高的靈活性，它不僅能夠進行單芯片轉移、多芯片轉移和巨量轉移，還支持LED分bin、混bin、重定位和轉移等工藝步驟。

不過，“憑借Porotech的多孔GaN技術及其可擴展架構，PoroGaN 平臺已經實現了芯片拾取和巨量轉移工藝的極大簡化，”朱博士說。 “在微型顯示器的制程中，PoroGaNg平臺通過直接將外延片與驅動背板進行晶圓級鍵合消除了傳統方案中的巨量轉移需求。

MicroSolidTM印刷平臺能夠解決當前大規模采用Micro-LED顯示器的首要挑戰，即將巨量的LED芯片從晶圓高效轉移到驅動背板上。據介紹，VueReal的這項專利工藝能夠以無與倫比的效率、可擴展性和高產量轉移數百萬顆微米大小的LED芯片。

這些都大大緩解了，太湖之光上非結構網格計算加速的巨量開發問題和離散訪存問題。UNAT更是通過一套耦合算子機制，將熱點進行分解融合，采用循環時空二維分解，跨循環數據復用等策略，有效緩解了非結構網格計算密度低的問題和硬件上的內存帶寬瓶頸。其中原理較為復雜，具體可以參考文末論文[2]（見文章底部“閱讀原文”）。

這些都大大緩解了，太湖之光上非結構網格計算加速的巨量開發問題和離散訪存問題。UNAT更是通過一套耦合算子機制，將熱點進行分解融合，采用循環時空二維分解，跨循環數據復用等策略，有效緩解了非結構網格計算密度低的問題和硬件上的內存帶寬瓶頸。其中原理較為復雜，具體可以參考文末論文[2]（見文章底部“閱讀原文”）。

這些特性有望助力整個Micro-LED工藝消除巨量轉移過程，”Kimoon Lee說。據介紹，Soft-Epi目前已經成功地在同一個外延晶片上長出紅色和綠色LED芯片。

為了處理巨量駕駛數據，特斯拉將把針對自監督學習技術的研發提高到絕對優先級。特斯拉啟動了一個代號為Dojo 的重大項目，它是一臺超強的訓練計算機，處理的數據不再停留在圖片層面，而是針對視頻類的數據，能夠以較低的成本實現算法性能的指數級提升。

專家們將從市場、技術、應用等方面分享多場主題報告，內容覆蓋半導體先進封裝技術、Micro LED巨量轉移技術、半導體制程與晶圓檢測、新能源汽車的激光應用等前沿技術應用。我們誠摯歡迎來自泛半導體制程領域的專家、學者、企業家蒞臨，一起謀產業機會、促行業發展，共同探討光子技術在泛半導體制程領域的應用大局。