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示例.0082(1.0) 關鍵詞：光線追跡，高數值孔徑，點列圖，光斑尺寸 1. 描述■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個具有高數值孔徑的透鏡系統進行分析。■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線結構和二維點列圖進行討論。■ 此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。 2.

與傳統透鏡相比，超透鏡最大的優點就是體積非常微型化，同時實現的功能遠超傳統透鏡，超透鏡可以小到肉眼幾乎不能看見，一片超透鏡就可以取代相機中的透鏡組。 數值孔徑是光學透鏡最重要的基本參量，衡量著光學系統的成像能力，一直以來，各國科學家為增加透鏡的數值孔徑爭相努力。

關鍵詞：光線追跡，高數值孔徑，點列圖，光斑尺寸1.描述■該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個具有高數值孔徑的透鏡系統進行分析。■我們將對焦面前和焦面上對三維光線結構和二維點列圖進行討論。■此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。

摘要眾所周知，光的矢量性質在高數值孔徑聚焦條件下不可忽視。在這個案例中，展示了由高數值孔徑非球面透鏡聚焦的線性偏振高斯光束，顯示了焦平面上非均勻的PSF。通過檢查焦平面上的電磁場分量，可以發現不均勻性是由相對強的Ez分量引起。 建模任務 結果 文件信息

在此，我們在空間、時間與場分布上研究了該脈沖傳播通過高數值孔徑透鏡的影響。

在此，我們在空間、時間與場分布上研究了該脈沖傳播通過高數值孔徑透鏡的影響。

高數值孔徑(NA)物鏡系統的先進點擴散函數計算 當線性偏振高斯光束經高數值孔徑(NA)非球面透鏡聚焦時，由于矢量效應，焦平面上的PSF呈現非對稱性。 有關更多信息，請發送郵件至: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com

在此，我們在空間、時間與場分布上研究了該脈沖傳播通過高數值孔徑透鏡的影響。

在此，我們在空間、時間與場分布上研究了該脈沖傳播通過高數值孔徑透鏡的影響。

在此，我們在空間、時間與場分布上研究了該脈沖傳播通過高數值孔徑透鏡的影響。 摘要

摘要 高數值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區域的場，也可以深入研究矢量效應。

建模任務：如圖1所示為高NA系統，入射光為266.08mm的平面波，光束直徑3mm，x偏振。物鏡的數值孔徑為0.85，需要分析焦斑的分布。圖1. 高數值孔徑物鏡焦斑分析建模任務建模步驟如圖2所示，首先導入高數值孔徑的物鏡。在VirtualLab Fusion中，可以使用Lens System創建鏡頭組，也可以利用其豐富的接口從外部導入鏡頭。

摘要 高數值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區域的場，也可以深入研究矢量效應。

在此，我們在空間、時間與場分布上研究了該脈沖傳播通過高數值孔徑透鏡的影響。

摘要 高數值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區域的場，也可以深入研究矢量效應。

摘要 高數值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區域的場，也可以深入研究矢量效應。

數值孔徑(NA)物鏡系統的先進點擴散函數計算 當線性偏振高斯光束經高數值孔徑(NA)非球面透鏡聚焦時，由于矢量效應，焦平面上的PSF呈現非對稱性。

描述■ 該案例中介紹了如何利用VirtualLab軟件中光線追跡引擎評價一個高數值孔徑準直透鏡系統的性能。■ 顯示光線追跡分析結果的二維和三維結果。■ 此外，利用一個可編程探測器對光線追跡結果中的自定義評價函數進行評價：— 每條光線的波前差— 準直光束波前差的均方根（RMS）值 2.

高數值孔徑物鏡的聚焦分析 高NA(數值孔徑)物鏡常用于光學顯微及光刻，并已廣泛在其他應用中得以使用。眾所周知，在高數值孔徑物鏡的使用中，電磁場矢量特性的影響是不可忽略的。一個眾所周知的例子就是由高NA(數值孔徑)物鏡聚焦線性偏振圓光束時，焦斑的不對稱性:焦斑不再是圓的，而是拉長的。

總結 ? VirtualLab Fusion 可用于設計高數值孔徑衍射分束器和擴散器? 模塊Mod014可用于補償產生的點圖變形和強度調制。? 值得注意的是，余下的強度調制是由于利用IFTA設計的最終衍射元件存在的一致性誤差導致的。? 此外，高數值孔徑分束器衍射元件的特征尺寸是波長量級。