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先進制程與新光源適配升級面向3nm及以下節點，開發EUV光刻雙遠心物鏡適配的三維矢量模型，深化極紫外光與遠心偏振光路的耦合作用機制研究。針對高NA雙遠心物鏡（NA>1.5），構建“遠心度-偏振態-深度衍射”多物理量耦合模型，解決超高清三維圖形的成像畸變問題。探索X射線雙遠心光刻場景的模型拓展，突破傳統光刻的材料加工極限。2.

三維矢量成像模型通過全空間矢量光場建模，可精準捕捉非雙遠心光路下三維偏振演化與深度衍射規律，成為破解瓶頸的關鍵。本文以零波像差非雙遠心成像為視角，對比二維與三維模型適配性，重點聚焦三維模型應用機理，為先進三維制程光刻精度提升提供支撐。

基于Zemax的對稱式雙遠心光路設計團隊提出的對稱式雙遠心光路-雙CCD測量方法，以平面反射鏡誤差補償為核心創新點，通過Zemax軟件完成光路設計、參數優化與性能仿真，構建了滿足大型階梯軸測量需求的光學系統。（一）設計原理：雙遠心光路的精度保障雙遠心光路將物方遠心與像方遠心光路融合，孔徑光闌置于物方和像方共同焦點位置，使物像方主光線均平行于光軸。

成像模型對比： 03/成像分析針對零波像差雙遠心、零波像差非雙遠心、存在波像差三種情況，對比二維與三維矢量成像模型的成像性能：零波像差雙遠心：二者成像性能完全相同。

三維矢量成像模型通過全空間矢量光場建模，可精準捕捉雙遠心光路下三維偏振演化與深度衍射規律，成為破解該瓶頸的關鍵。本文以零波像差雙遠心成像為視角，對比二維與三維矢量模型的適配性差異，重點聚焦三維模型的應用機理，為先進三維制程光刻精度提升提供理論支撐。

雙遠心系統 你也可以制作雙遠心系統（或雙遠心系統），這意味著物方和像方的遠心。然而，這只有在無焦光學系統中才有可能實現。圖3顯示了一個例子。主光線（穿過孔徑光闌的中心）水平于第一透鏡的左側和第二透鏡的右側。請注意，只有當鏡頭之間的距離是它們的焦距之和時，這才能起作用。

核心設計理論與技術指標1）系統工作原理為解決基板離焦導致的倍率誤差問題，該投影物鏡采用雙遠心光路結構，整體類似4F成像系統。前組透鏡的后焦面與后組透鏡的前焦面重合，視場光闌位于該重合平面，分別將前組、后組透鏡成像于物方、像方無窮遠。

Hybrid系列復合式閃測儀Hybrid系列復合式閃測儀是一種先進的全自動影像測量儀，基于大理石主體機臺和精密伺服控制系統，采用電動變倍鏡頭和大視場雙遠心鏡頭的混合架構，充分發揮光學電動變倍鏡頭的高精度優勢和大視場雙遠心鏡頭的效率優勢，能實現精度和效率的優化組合測量。

</p><h1>四、培訓內容</h1><p>（1）光學鏡頭的設計基本指標分解 ，對應ZEMX軟件中的設置；</p><p>（2）雙遠心工業鏡頭設計過程教學</p><p>（3）無熱化大視場監控鏡頭設計過程教學</p><p>（4）激光打標F-theta掃描鏡頭設計過程教學</p><p>（5）激光擴束天線設計過程教學</p><p>（5）投影鏡頭設計過程教學</p><p>（6）手機鏡頭設計過程教學</p><p

1、閃測儀閃測儀側重于雙遠心鏡頭的整體成像（拍照式），結合高分辨率工業相機及高精度圖像分析處理算法，通過軟件計算后實現測量。 VX8000閃測儀外形設計充分利用空間結構，得益于“光學檢測技術+機器視覺技術”的創新及進步以及人性化設計理念，小巧精致，占地面積小。拍照式的測量原理有效避免了阿貝誤差的產生，測量精度受現場環境、使用時間的影響較小。

機器視覺鏡頭，雙遠心鏡頭案例設計，熟悉工業精密檢測鏡頭的優化設計。 3、熱效應分析：分析在不同環境下，鏡頭的優化分析；并采用二元光學來進行消熱差分析。 4、抬頭顯示設計：汽車HUD設計案例，包含反射式自由曲面的設計優化。 5、AR，VR設計：頭戴顯示系統設計案例，包含自由投射式自由曲面的優化設計。

VX8000系列閃測儀采用雙遠心高分辨率光學鏡頭，結合高精度圖像分析算法，在CNC數控模式下，儀器可以根據工件的形狀自動定位測量對象、匹配模板、測量評估和報告生成，真正實現一鍵快速準確的測量。

1、引入現代精密測量設備 閃測儀：一鍵式快速精準測量 閃測儀通過雙遠心高分辨率光學鏡頭和高精度圖像分析算法，實現了一鍵式快速精準測量。在CNC模式下，操作者只需按下啟動鍵，儀器即可自動完成定位、匹配、測量和報表生成，提升了測量效率。

中圖閃測儀基于機器視覺的自動測量技術，采用雙遠心高分辨率光學鏡頭，將產品影像經過拍照后調整至合適大小后，再通過圖像處理軟件進行分析，即可得到產品的尺寸數據，同時完成對尺寸公差的評價。這種非接觸式的測量方式，不僅能夠大大提高測量效率，還能減少人為因素對測量結果的影響，保證測量的準確性和穩定性。

后續將展示更多初始透鏡結構設計的案例，涵蓋雙遠心鏡頭到廣角成像系統。3.集成制造可行性分析：“First Time Right’”與PanDao的協同PanDao是近期研發的一款建模軟件工具，可讀取透鏡數據并確定最佳制造鏈，在考慮約360種制造技術的前提下實現制造成本與風險最小化。

后續將展示更多初始透鏡結構設計的案例，涵蓋雙遠心鏡頭到廣角成像系統。3.集成制造可行性分析：“First Time Right’”與PanDao的協同PanDao是近期研發的一款建模軟件工具，可讀取透鏡數據并確定最佳制造鏈，在考慮約360種制造技術的前提下實現制造成本與風險最小化。

</p><p>而VX系列圖像尺寸測量儀能夠通過雙遠心高分辨率光學鏡頭大口徑高景深特點，結合高精度提取算法，對邊緣進行亞像素處理，實現全視野范圍成像清晰，低畸變，對這些微型零件進行準確的測量，提高了生產效率和產品的一致性。

儀器采用了雙遠心光學鏡頭，一次可同時測量高達1024個特征，一次可同時測量多達100個工件。