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示例.0082(1.0) 關(guān)鍵詞：光線追跡，高數(shù)值孔徑，點(diǎn)列圖，光斑尺寸 1. 描述■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。■ 此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。 2.

關(guān)鍵詞：光線追跡，高數(shù)值孔徑，點(diǎn)列圖，光斑尺寸1.描述■該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。■我們將對焦面前和焦面上對三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。■此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。

示例.0084(1.0) 關(guān)鍵詞：光線追跡，波前差，自定義評價(jià)函數(shù)，準(zhǔn)直，RMS 1. 描述■ 該案例中介紹了如何利用VirtualLab軟件中光線追跡引擎評價(jià)一個(gè)高數(shù)值孔徑準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)的性能。■ 顯示光線追跡分析結(jié)果的二維和三維結(jié)果。

摘要 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。

廣義德拜積分設(shè)置結(jié)果呈現(xiàn)高數(shù)值孔徑物鏡的光線追跡結(jié)果如圖5所示圖5. 光線追跡結(jié)果以及點(diǎn)列圖場追跡的結(jié)果如圖所示，圖6左邊為探測器#609，結(jié)果包含Ez分量，右邊為探測器#611，結(jié)果不包含Ez分量。圖6. 場追軌結(jié)果-camera detecor電磁場探測器#611可以顯示完整顯示各個(gè)場分量，如圖7所示。

建模任務(wù) 概述 ?案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。?接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 光線追跡仿真 ?首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。?單擊go！?獲得了3D光線追跡結(jié)果。

建模任務(wù) 概述 ?案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。?接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 光線追跡仿真 ?首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。?單擊go！?獲得了3D光線追跡結(jié)果。

建模任務(wù) 概述 ?案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。?接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 光線追跡仿真 ?首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。?單擊go！?獲得了3D光線追跡結(jié)果。

建模任務(wù) 入射平面波 波長 2.08 nm 光斑直徑： 3mm 沿x方向線偏振 如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ 概覽 ?樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。

光線追跡的應(yīng)用領(lǐng)域光線追跡廣泛應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)仿真，特別是在系統(tǒng)的尺寸遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于光的波長時(shí)。這種尺寸差異允許光線追跡將光近似為光線，而忽略其波狀屬性，從而可簡化計(jì)算，提升仿真的速度和計(jì)算效率。對于小于光波長的系統(tǒng)，光線追跡的有效性會變低，因?yàn)檠苌浜透缮娴炔▌蝇F(xiàn)象會占據(jù)主導(dǎo)地位。在這種情況下，電磁場分析（例如時(shí)域有限差分（FDTD）或嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）更為合適，因?yàn)槠鋾紤]上述影響。

值—不同的2D&3D圖以證實(shí)聚焦的變化 5.總結(jié)VirtualLab能夠：?利用場追跡，高精度的確定焦點(diǎn)位置?可通過兩步確定位置：—通過光線追跡快速焦點(diǎn)尋找—利用場追跡進(jìn)行焦點(diǎn)的高精度研究光束傳輸系統(tǒng)(BDS.0002v.1.0) 用于激光束聚焦的雙膠合透鏡優(yōu)化1.系統(tǒng)介紹?光源

對于小于光波長的系統(tǒng)，光線追跡的有效性會變低，因?yàn)檠苌浜透缮娴炔▌蝇F(xiàn)象會占據(jù)主導(dǎo)地位。在這種情況下，電磁場分析（例如時(shí)域有限差分（FDTD）或嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）更為合適，因?yàn)槠鋾紤]上述影響。

? 即使對于這個(gè)低數(shù)值孔徑(NA)，場追跡能夠使我們改善最終聚焦點(diǎn)半徑：0.12um×0.24um(1.4%×4.8%) 11. 結(jié)果補(bǔ)償(第1步&第2步)&半徑 在參數(shù)概覽中顯示了4個(gè)圓錐面的最終曲率半徑，構(gòu)成了雙合透鏡。 12. 總結(jié) 對使用光線追跡所設(shè)計(jì)的透鏡應(yīng)用場追跡進(jìn)行進(jìn)一步優(yōu)化，以提高透鏡性能。

curid=16724483 進(jìn)一步閱讀以下文檔給出了一個(gè)詳細(xì)的描述，如何在VirtualLab中設(shè)置和優(yōu)化激光系統(tǒng)：入門視頻：- 介紹光路圖- 介紹參數(shù)運(yùn)行使用案例：- 元件的定位和取向- 光線追跡引擎的設(shè)置和結(jié)果演示- 使用參數(shù)運(yùn)行文檔- 一維數(shù)值數(shù)據(jù)陣列多重圖像模式- 大孔徑透鏡系統(tǒng)-通過幾何場追跡+進(jìn)行分析

5.光線追跡：3D評價(jià) 3D光線追跡系統(tǒng)分析器顯示了預(yù)期的聚焦效果 6.光線追跡：聚焦點(diǎn)尺寸?在光線追跡優(yōu)化過程中，我們利用光束尺寸探測器評價(jià)光斑尺寸。?由此產(chǎn)生的光束直徑在X和Y方向上的均方根有效值(指的是質(zhì)心)：2.27μm X 2.60μm(小于衍射極限)。

上圖是一個(gè)臨界照明系統(tǒng)，光源通過一個(gè)聚光鏡成像在中間像面上，再利用投影鏡投射到屏幕上。前半部分邊緣光線（紅實(shí)線）從光源中心追跡到聚光鏡的孔徑邊緣，再追跡到中間像面的中心。后半部分邊緣光線（紅虛線）可以從中間像面的中心追跡到投影鏡頭孔徑邊緣，再追跡到照明目標(biāo)的中心。前半部分主光線（藍(lán)實(shí)線）可以從光源（物）的邊緣追跡到聚光鏡的中心，再追跡到中間像面的邊緣。

概述? 示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡? 下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 4. 光線追跡仿真 ? 首先，選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。? 點(diǎn)擊“Go!”。? 隨即獲得3D光線追跡結(jié)果 ? 然后，選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。? 點(diǎn)擊“Go!”。

它符合系統(tǒng)的物理層結(jié)構(gòu)；任何一個(gè)物體都可以在任意的坐標(biāo)系統(tǒng)中定義。任何表面都可能被任何隱式曲面或者任何孔徑收集曲線剪切。 4.FRED如何追蹤光路？ FRED可以進(jìn)行高級光線追跡。這種光線追跡可以清晰地追蹤系統(tǒng)中所有光線的所有路徑。圖5顯示了在圖1中的兩個(gè)雙膠合透鏡的光線路徑的列表。

摘要 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。

curid=16724483 進(jìn)一步閱讀以下文檔給出了一個(gè)詳細(xì)的描述，如何在VirtualLab中設(shè)置和優(yōu)化激光系統(tǒng)：入門視頻：- 介紹光路圖- 介紹參數(shù)運(yùn)行使用案例：- 元件的定位和取向- 光線追跡引擎的設(shè)置和結(jié)果演示- 使用參數(shù)運(yùn)行文檔- 一維數(shù)值數(shù)據(jù)陣列多重圖像模式- 大孔徑透鏡系統(tǒng)-通過幾何場追跡+進(jìn)行分析