開展氮化鎵外延專用硅襯底研究,形成統(tǒng)一的技術(shù)規(guī)范和加工要求,對(duì)于促進(jìn)硅基氮化鎵襯底國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化具有十分重要的意義。 中國電科46所致力于硅基氮化鎵外延用特種硅襯底研制,與三安光電、晶能光電、蘇州能訊和彩虹藍(lán)光等國內(nèi)知名氮化鎵器件研發(fā)企業(yè)有深入合作,在LED專用襯底、RF HEMT硅襯底國產(chǎn)化及批產(chǎn)化方面進(jìn)行了探索與研制,形成了一定的規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。
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半導(dǎo)體材料與工藝設(shè)備 ??? 4年前