第三代半導體技術競爭白熱化!碳化硅(SiC)的前世今生!
1. 碳化硅氮化鎵主導,第三代半導體技術競爭白熱化!
2021年,隨著各國于5G通訊、消費性電子、工業能源轉換及新能源車等需求拉升,驅使如基站、能源轉換器(Converter)及充電樁等應用需求大增,使得第三代半導體 GaN 及 SiC 元件及模組需求強勁。根據CASA數據,2020年,我國第三代半導體整體產值超過7100億。從年初開始,多重利好消息也在刺激著人們對于第三代半導體業的關注。8月14日,工信部正式宣布將碳化硅(SiC)復合材料、碳基復合材料等納入“十四五”產業科技創新相關發展規劃,以全面突破關鍵核心技術,攻克“卡脖子”品種。行業投資水漲船高、新玩家入場、需求不斷涌現,第三代半導體市場也揚起了浪。
碳化硅、氮化鎵已趨于成熟
第三代半導體是5G時代高頻化、輕薄化應用的優選。5G、新能源汽車等新興領域要求硬件擁有更好的性能,半導體產品的效率要求也會隨之提高,半導體材料的代際劃分顯現。第三代半導體指的是碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化物半導體(如氧化鋅ZnO)、III族氮化物(如氮化鋁AlN)、金剛石半導體等寬禁帶半導體材料。相較于第一代半導體材料(硅、鍺)與第二代半導體材料(砷化鎵、磷化銦),第三代半導體材料具有更寬的禁帶寬度、更高的擊穿電場、更高的熱導率、更高的電子飽和速率及更高的抗輻射能力,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率器件,在5G、毫米波通信、新能源汽車、光伏發電、航空航天等戰略新興產業的應用需求呈現激增。
碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)已是第三代半導體中發展最成熟的兩個品種。碳化硅(SiC)具有工作溫度更高、開關和導通損耗更低的特性,適合太陽能逆變器、工業電源以及新能源汽車主控電路。而氮化鎵(GaN)由于其高電子遷移率和高電子飽和速度特性,適合高速和高功率元件,比較典型的應用場景是下一代無線通訊系統。SiC的性能使其在高于1200V的高電壓、大功率應用上頗具優勢,而GaN功率器件更適合40-1200V的高頻應用,尤其是在600V/3KW以下的應用場合。
碳化硅(SiC)
碳化硅(SiC)主要可應用于電力電子器件和微波射頻領域,細分領域包括車、光伏、消費電子等。而由導電型碳化硅襯底制成的功率半導體器件包括:結勢壘肖特基功率二極管(JBS)、PiN功率二極管和混合PiN肖特基二極管(MPS);金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)、雙極型晶體管(BJT)、結型場效應晶體管(JFET)、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)和門極可關斷晶閘管(GTO)等,能夠應用于電子電氣領域中新能源汽車、光伏發電等方面。而由半絕緣型襯底制成的射頻半導體器件包括射頻開關、LNA、功率放大器、濾波器等,可廣泛應用于5G通訊、衛星、雷達等領域。
氮化鎵(GaN)
目前氮化鎵單晶生長尺寸在2英寸和4英寸,一般不作為襯底材料,而是采用異質外延技術生長GaN-on-SiC器件、GaN-on-Si器件以及藍寶石基氮化鎵外延器件等。在器件及應用方面,首先,GaN-on-SiC器件、GaN-on-Si器件可作為微波射頻器件,應用于5G 通信、雷達預警、衛星通訊等方面。
此外,GaN寬帶隙功率晶體管可以在高壓和高開關頻率條件下提供高功率效率,使其能夠應用于智能電網、高速軌道交通、新能源汽車、消費電子等電力電子方向,其性能遠遠超過硅MOSFET產品。根據Yole數據,GaN射頻全球市場在2018年為6.45億美元,預計2024年達到約 20億美元;在GaN電源市場方面,受消費者快速充電器應用推動,到2024 年全球市場規模將超過3.5億美元。基于硅襯底GaN還可制造藍光LED和白光LED,GaN因其材料的高頻特性是制備紫外光器件的良好材料,可應用在包括滅火抑爆系統、紫外制導、紫外通信等在內的軍事領域,以及火焰探測、電暈放電檢測、醫學監測診斷等在內的民用領域。
除SiC、GaN外,第三代半導體還包括眾多其他材料,包括III族氮化物(AlN、InGaN、InAlN、AlGaN、AlInGaN等)、氧化物半導體(包括ZnO, CaTiO3, IGZO, β-Ga2O3 ,TiO2)以及金剛石半導體等。碳化硅基氮化鎵技術開始的,它在20多年前即已推出,現已成為RF功率應用方面LDMOS和GaAs的有力競爭者。碳化硅基、氮化鎵打頭,硅基氮化鎵緊跟,硅基氮化鎵除了軍用雷達領域的深度滲透,它還是華為、諾基亞、三星等電信原始設備制造商(OEM)5G大規模MIMO基礎設施的首選。
增速方面,第三代半導體在功率器件的增速和體量都要大于微波射頻。微波領域在2020年已經達到頂峰,因為5G建設的放緩,今年可能會有所下滑。故此推測,第三代半導體真正的應用領域還是在功率器件或者電力電子器件,市場滲透主要包括新能源汽車和光伏逆變器。
國內生態逐漸建立
第三代半導體仍是個新興技術,全球市場處于初期階段。第三代半導體產業鏈主要包含襯底、外延材料、器件設計、制造、模塊和應用這幾個環節。外延與器件設計方面,由于技術相對簡單,門檻不高,目前國內外差距較小;而器件制造則是另一個差距較大的方面,國外由于發展較早,在制造的過程中累積了大量的產業,其產品擁有較高的良率和可靠性。
國內第三代半導體器件已經迅速進入了新能源汽車、光伏逆變、5G 基站、PD 快充等應用領域,碳化硅主要應用在新能源汽車和工控等領域,氮化鎵器件主要應用在5G基站等領域。2020 年我國第三代半導體產業電力電子和射頻電子總產值超過 100 億元,同比增長 69.5%。其中,SiC、GaN 電力電子產值規模達 44.7 億元,同比增長 54%;GaN 微波射頻產值達到 60.8億元,同比增長 80.3%。
近年來,國內在第三代半導體及其襯底方面為了趕上國外的步伐投入很大,但僅分散在功率器件應用領域;IDM和代工服務方面,與國際上量產6英寸,正在建設8英寸量產工廠的水平還存在差距。另外,門檻更高的碳化硅將長期以IDM為主,在美日兩家獨大的產業格局下,中國廠商的機會也受到了一定的擠壓。
在我國政策力度的帶動下,國內第三代半導體材料的主流企業積極布局,市場容量擴大且產業鏈合作水平不斷提高。中電科55所已是國內少數從4-6寸碳化硅外延生長、芯片設計與制造、模塊封裝領域實現全產業鏈的企業單位。而泰科天潤已經量產SiC SBD,產品涵蓋600V/5A~50A、1200V/5A~50A和1700V/10A系列。深圳基本半導體則擁有3D SiC技術,推出了1200V SiC MOSFET產品。瀚薪獨創集成型碳化硅JMOSFET結構技術,推出全球唯一量產的SiC JMOS產品,實現了碳化硅的DMOSFET和JBS(肖特基二極管)的芯片內集成。另外值得關注的是,近年來,SiC晶片作為襯底材料的應用正在逐步走向成熟,成本呈現明顯下降趨勢,具備了大規模產業化應用的基礎。
2. 碳化硅(SiC)的前世今生!
SiC作為半導體材料具有優異的性能,尤其是用于功率轉換和控制的功率元器件。與傳統硅器件相比可以實現低導通電阻、高速開關和耐高溫高壓工作,因此在電源、汽車、鐵路、工業設備和家用消費電子設備中倍受歡迎。雖然SiC最后通過人工合成可以制造,但因加工極其困難,所以SiC功率元器件量產化曾一度令研究者們頭疼。
※ 啥是碳化硅(SiC)?
碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導體材料。碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)等,因為禁帶寬度大于2.2eV統稱為寬禁帶半導體材料,在國內也稱為第三代半導體材料。
在半導體業內從材料端分為:
第一代元素半導體材料:如硅(Si)和鍺(Ge);
第二代化合物半導體材料:如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等;
第三代寬禁帶材料:如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)等。
其中碳化硅和氮化鎵是目前商業前景最明朗的半導體材料,堪稱半導體產業內新一代“黃金賽道”。
歷史上人類第一次發現碳化硅是在1891年,美國人艾奇遜在電溶金剛石的時候發現一種碳的化合物,這就是碳化硅首次合成和發現。在經歷了百年的探索之后,特別是進入21世紀以后,人類終于理清了碳化硅的優點和特性,并利用碳化硅特性,做出各種新器件,碳化硅行業得到較快發展。
相比傳統的硅材料,碳化硅的禁帶寬度是硅的3倍;導熱率為硅的4-5倍;擊穿電壓為硅的8倍;電子飽和漂移速率為硅的2倍。種種特性意味著碳化硅特別適于制造耐高溫、耐高壓,耐大電流的高頻大功率的器件。
目前已知的碳化硅有約200種晶體結構形態,分立方密排的閃鋅礦α晶型結構(2H、4H、6H、15R)和六角密排的纖鋅礦β晶型結構(3C-SiC)等。
其中β晶型結構(3C-SiC)可以用來制造高頻器件以及其他薄膜材料的襯底,例如用來生長氮化鎵外延層、制造碳化硅基氮化鎵微波射頻器件等。α晶型4H可以用來制造大功率器件;6H最穩定,可以用來制作光電器件。
※ 碳化硅的性能優勢
如果只算碳化硅芯片,在功率半導體方面碳化硅的對比傳統硅基功率芯片,有著無可比擬的優勢:碳化硅能承受更大的電流和電壓、更高的開關速度、更小的能量損失、更耐高溫。因此用碳化硅的做成的功率模組可以相應的減少了電容、電感、線圈、散熱組件的部件,使得整個功率器件模組更加輕巧、節能、輸出功率更強,同時還增強了可靠性,優點十分明顯,具體總結如下:
1、更低的阻抗,帶來更小尺寸的產品設計和更高的效率;
2、適用于更高頻率和更快的開關速度;
3、極佳的高溫特性,能在更高溫度下工作。
※ 為什么碳化硅這么貴?
所有人都知道碳化硅未來巨大的商業前景,但是所有投身這個行業的就會遇到第一條最現實的問題,材料怎么辦?
目前傳統硅基產業極其成熟的商業環境,至少有一大半原因是硅材料較為容易得到。硅材料成熟且高效的制備技術使得硅材料目前十分低廉,目前6英寸硅拋光片僅150元,8英寸300元,12英寸850元左右。
只有原材料足夠便宜,產業規模才可能做大!
目前用直拉法,72小時能生長出2-3米左右的硅單晶棒,一根單晶棒一次能切下上千片硅片。
你知道72小時能長多少厚碳化硅單晶體嗎?只有幾厘米都不到!!!
目前最快的碳化硅單晶生長的方法,生長速度在0.1mm/h-0.2mm/h左右,因此72小時也僅有7.2mm~14.4mm厚度的晶體。
所以大家可以想象,生產出來的碳化硅單晶片能貴成啥樣了。目前4英寸碳化硅襯底售價在2000-3000元左右,6英寸襯底更是達到6000-8000元的水平,外延片至少再X2的價格以上,而且還有價無貨。
作為全世界碳化硅龍頭企業,美國科銳(Cree)幾乎壟斷了70%以上的產能,因此國內外下游廠家,紛紛和科銳簽訂長期合約鎖定產能。
※ 碳化硅的市場
碳化硅MOSFET和碳化硅二極管用于太陽能,UPS,工業,汽車等應用:主要集中在光伏儲能中的逆變器,數據中心服務器的UPS電源,智能電網充電站等需要轉換效率較高的領域。但是隨著近些年電動和混合動力汽車(xEV)的發展,SiC也在這個新領域迅速崛起,輻射的產業包括能源(PV,EV充電,智能電網等)、汽車(OBC,逆變器)、基礎設施(服務器)等。
綜上,在不遠的將來,我們能預想到碳化硅會對電力電子行業產生革命性影響!
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