反射式液晶設計的案例
反射式光刻物鏡設計 | SYNOPSYS 光學設計軟件第79課
一．概述
隨著光刻分辨率的不斷提高，光學光刻機中采用的投影物鏡結構型式經歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機中，全反射型、全折射型、折反射型多種結構型式并存：在目前的高分辨率光刻機中，全折射式結構型式是主流。
與全折射式結構型式相比，折反射式結構的投影物鏡具有許多優越的光學性能，但其在光刻機中的真正使用尚需克服許多技術問題。在現代高分辨率光學光刻機中，投影物鏡的結構型式大致分為兩類：全折射型和折反射型。
全折射型投影物鏡是指只含有透鏡的投影物鏡，而折反射型投影物鏡則是同時含有透鏡和反射鏡的投影物鏡。
二．SYNOPSYS自由曲面設計功能
受限于EUV（極紫外光）使用的波長為13.5nm，由于該波段的光幾乎沒有光學材料可以透過，因此為了使用更短的波長，此類光刻物鏡只能采用完全反射式進行設計。
SYNOPSYS的自由曲面設計功能可以非常方便快捷地設計自由曲面反射式光學系統。
只需要輸入每個反射鏡的初始位置、形狀，以及系統的物方參數和像方要求，此功能會自動生成對應的優化文件和初始結構。
宏文件和鏡頭文件
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三.反射式光刻物鏡優化結果
得到優化的宏文件
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調整優化宏，進一步優化反射鏡的形狀以達到更好的成像質量。額外的質量要求都可以在優化文件內按需要增加或調整。
對應鏡頭文件
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軟件自動優化功能，會自動將反射鏡的位置優化匹配到不會影響光線軌跡的情況。
展開 SYNOPSYS光學設計軟件課程六十六：離軸反射式光學系統初始結構設計
</p><p><br></p><p>自由曲面廣泛的應用在以下領域：投影鏡頭、衍射光學器件、頭盔式顯示器、車燈反射面、LED照明系統、汽車HUD抬頭顯示、離軸系統等等。</p><p><br></p><p>本文將展示使用synopsys軟件進行離軸反射式光學系統初始結構的設計</p><p><br></p><p>第一步是繪制設計簡圖。</p><p><br></p><p>這是一個有三個反射鏡的例子，如下圖所示。光線從表面1的左側進入，依次經過位于2,3,4處的反射鏡，然后進入5處的像面。</p><div contenteditable="false" width="100%">
<figure class="figure-image" data-img="https://img.jishulink.com/202403/attachment/4cad701e3fc44bfaad2a6b2a7d665baf.png" style="text-align: center">
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展開 離軸反射式光學系統面型選擇及其優化 | SYNOPSYS 光學設計軟件課程第67課
wx_fmt=png&from=appmsg&tp=webp&wxfrom=5&wx_lazy=1&wx_co=1" alt="圖片"></strong></p><p><strong> </strong></p><p><strong>至此，一個離軸反射式的光學系統的整個建模優化部分就完成了，本文僅僅是對第2、3反射鏡面型進行了優化，讀者可以自行評估生產加工能力后選擇開啟高階系數進行優化，或也可以選擇優化更多反射鏡但不使用過高階的系數進行優化達到一種生產能力與設計需求的平衡，也可以嘗試文中其它的優化方式來達到設計目標，各位讀者可以自行嘗試對本文案例的搭建，也可以嘗試自行設計出另外的結構進行嘗試搭建，感謝閱讀。</strong></p><p><br></p>
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